XY直交度(mm)0.02ストローク(X距離)(mm)±7.5ストローク(Y距離)(mm)±7.5ストローク(Z距離)(mm)0～10種類xyzステージテーブル長さ(mm)90テーブル幅(mm)90耐荷重(N)49送り方式(XY軸)CMH-15F、(Z軸)CMH-13FM(各軸標準マイクロメータ)移動ガイドXY軸 V溝とクロスローラ、Z軸 V溝レールと鋼球操作位置(XY軸)サイド質量(kg)1.25感度0.003mmクランプ板クランプ目量マイクロメータ式0.01mm材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XYZ軸3方向移動精度(mm)真直度 XY軸0.003、Z軸0.008移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
