XY直交度(mm)0.02
ストローク(X距離)(mm)±7.5
ストローク(Y距離)(mm)±7.5
ストローク(Z距離)(mm)0〜10
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)90
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)49
送り方式(XY軸)CMH-15F、(Z軸)CMH-13FM(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドXY軸 V溝とクロスローラ、Z軸 V溝レールと鋼球
操作位置(XY軸)サイド
質量(kg)1.25
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸0.003、Z軸0.008
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm