ストローク(Z距離)(mm)±6.5種類Zステージテーブル長さ(mm)40テーブル幅(mm)40耐荷重(N)19.6送り方式CMH-13RM(標準マイクロメータ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)感度0.003mm操作位置センター移動量(ツマミ1回転)0.5mm質量(kg)0.23クランプ板クランプ目量マイクロメータ式0.01mm材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応移動方向Z軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.20、ピッチ剛性 0.50、ロール剛性 0.50垂直度(mm)0.080、運動の垂直度：0.030
