半導体・MEMSのための超臨界流体

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内容量1冊 注文コード41645206 品番9784339008371
参考基準価格(税別)¥3,400 販売価格(税込) ¥3,740
販売価格(税別) 書籍
3,400

気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について、特長と、乾燥、薄膜堆積、洗浄など、半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説。超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。

ジャンル
電子
通信
分類専門 判型A5 ページ数227 著者名近藤英一 上野和良 内田寛 初版年月2012/09

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よくあるご質問(FAQ)

ご質問件数: 1
ご質問は製品仕様に関する内容に限らせて頂きます。
質問:
製品の安全データシート(SDS)や有害物質使用制限に関するデータ(RoHS)等の書面が必要ですがどうすれば良いですか。
回答:
お手数ですが下記URLのお問合せフォームよりご依頼ください。
お問合せ種類 *必須の中から必要な書類をお選びご依頼ください。

https://help.monotaro.com/app/ask

書類名)
1:SDS(MSDS)
2:RoHS(2)
3:非該当証明書
4:ChemSHERPA
5:その他(ミルシート・出荷証明書)
2022-04-07

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