- 材質
- 弁材：PCTFE、EPDM、その他：C3604B
- 最大流量(L/min)
- 30(P1=15MPa、P2=0.6MPa N2値)
- 使用温度(℃)
- ‐10～40
- 接続
- 入口接続：W21-14(左)袋ナット(P)、出口接続：バルブ付Rc1/4
- 質量(kg)
- 1.9
- 材質(本体)
- C3604B
- フィルター
- 粗さ：600メッシュ
- 使用ガス
- He用
- 一次側圧力計(MPa)
- 25
- 一次側圧力(MPa)
- 2～15
- 二次側圧力計(MPa)
- 0.25
- 二次側圧力(MPa)
- 0.02～0.6
- 標準流量(L/min)
- 24(P1=15MPa、P2=0.6MPa N2値)
- 流れ方向
- 右高圧
- 材質(ダイアフラム)
- PTFE+FKM
