ストローク(X距離)(mm)±5
ストローク(Y距離)(mm)±5
種類xyステージ/傾斜ステージ
テーブル長さ(mm)210
テーブル幅(mm)150
耐荷重(N)(水平)343
送り方式ボールねじ・リード1mm
移動ガイドXY：リニアガイド・θ：クロスローラベアリング
質量(kg)5.15
材質(本体)アルミ合金
モーター5相ステッピングモータ/PK523HPMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)XY：1μm/0.5μm、θ： 0.000498°/0.000249°
仕上白色
センサー型式XY：F-115(HOME， LIMIT)， θ：F-115R(HOME， LIMIT)
コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)
真直度(μm)(水平)XY：≦3/10mm、(垂直)XY：≦3/10mm
繰返し精密度(μm)XY：≦±0.5
RoHS指令(10物質対応)対応
結線V3
バックラッシュXY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005°
ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002
最高速度(mm/s)XY：10mm/sec ： Half 20kpps θ：4.98°/sec ： Half 20kpps
移動量(°)±5
ロストモーション(°)θ：≦ 0.005
モーメント荷重(arcsec/N・cm)X方向： 0.03・ Y方向： 0.05
