ストローク(X距離)(mm)±5
ストローク(Y距離)(mm)±5
種類xyステージ/傾斜ステージ
テーブル長さ(mm)210
テーブル幅(mm)150
耐荷重(N)(水平)343
送り方式ボールねじ・リード1mm
移動ガイドXY:リニアガイド・θ:クロスローラベアリング
質量(kg)5.15
材質(本体)アルミ合金
モーター5相ステッピングモータ/PK523HPMB(オリエンタルモーター:定格電流0.75A/相,基本ステップ角0.36°,リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)XY:1μm/0.5μm、θ: 0.000498°/0.000249°
仕上白色
センサー型式XY:F-115(HOME, LIMIT), θ:F-115R(HOME, LIMIT)
コネクタ丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
真直度(μm)(水平)XY:≦3/10mm、(垂直)XY:≦3/10mm
繰返し精密度(μm)XY:≦±0.5
RoHS指令(10物質対応)対応
結線V3
バックラッシュXY:≦ 1μm、θ:≦ 0.005°
ロストモーション(mm)XY:≦ 0.002
最高速度(mm/s)XY:10mm/sec : Half 20kpps θ:4.98°/sec : Half 20kpps
移動量(°)±5
ロストモーション(°)θ:≦ 0.005
モーメント荷重(arcsec/N・cm)X方向: 0.03・ Y方向: 0.05