用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ材質接ガス部：SUS316L、SUS316、FKM質量(g)約1200種類メータ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60通信方式RS485表示器一体型：4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45適合流体Ar動作差圧(kPa)50～300応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手1/4SWバルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)フルスケール流量5SLM流量制御範囲2～100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下校正温度(℃)20
