仕様●リミットセンサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●原点前センサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4):14
種類XYステージ
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.004
適合ケーブルACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3
耐荷重(N)392(40kgf)
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドボールウェイ
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.03
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.04
XY直交度(mm)0.06
移動量(mm)±150
使用モータPKP545N18B2
送りねじリード(mm)2
位置決め精度(mm)0.1
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)32(8000pps時)
テーブル幅(mm)200
テーブル長さ(mm)200
原点センサノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ