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TS75-D1-002 ターボ排気ユニット(T-Staion) EDWARDS 68334997

ターボ排気ユニット(T-Staion)

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内容量1個注文コード68334997 品番TS75-D1-002

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参考基準価格(税別)￥1,269,000

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EDWARDS社製の排圧ポンプとターボ分子ポンプ(EXT75DX)、コントローラーが一体となった排気ユニットで、ボタン1つでシステムの始動と停止を行うことができます。

仕様ターボ分子ポンプ：排気速度42L/s(N₂)、排気フランジNW16 寸法(mm)395×350×223(電源ケーブル別売) 質量(kg)17 到達真空度(kPa)＜5×10^-6 排気速度(L/min)(50Hz時)20

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