- 用途
- 半導体、液晶、製薬、食品製造現場におけるクリーンルームの清浄度管理、汚染源の特定
HEPAフィルターのリーク試験
ISO Class3以下の清浄度管理
- 付属品
- 等速吸引プローブ(SUS製)、リチウムイオン充電池、ACアダプター、ゼロ確認用フィルター、MMCカード、ソフトウェア、日本語取扱説明書
- 仕様
- 最大可測濃度：500000 個/cf(コインシデンスエラー10%)
- 質量(g)
- 5.5 kg(充電式リチウムイオン電池2個搭載時)
- 電源(V)
- 充電式リチウムイオン電池/ACアダプター(100～240 、50/60 Hz)
- 寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm)
- 200(W)×200(H)×205(D)
- 定格流量(L/min)
- 28.3 (1 CFM)
- インターフェース
- イーサネット、USB Host
- 粒径(μm)
- 測定：0.3・0.5・1.0・3.0・5.0・10.0
- セキュリティ
- 21 CFR Part11
- 言語表示
- ソフトウェア：日本語、英語
