フジキン ダイヤフラムバルブ

MEGA-ONE HQ・MEGA-ONE HQは各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90°開閉ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
高圧ガス大臣認定品としても対応可能です。
バルブの開閉状態が一目で確認できます。
高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム
良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.39cc)
シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定されています。
接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。