フジキン ダイヤフラムバルブ

NEW MEGA-MINI HM・新タイプ・高圧コンパクトマニュアルバルブ・NEW MEGA-MINI HMは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレーションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
優れた耐久性2万回以上
高圧ガス大臣認定品の対応が可能です。
バルブの開閉状態が一目で確認できます。
高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム
良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 0.92 cc)
シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。
接ガス部はすべて標準でUP処理を行っています。