種類xステージ
テーブル長さ(mm)100
テーブル幅(mm)120
耐荷重(N)343(35kgf)
送り方式ボールネジ
リード(mm)1
移動ガイド精密クロスローラガイド
材質アルミ合金
色白色仕上げ
勝手SXA1075-R01-R
有効移動範囲(mm)± 37.5
分解能(μm)フル/ハーフ:2/1、マイクロステップ (1/20分割):0.1
最高速度(mm/s)20(Half 20kpps)
誤差(μm)≦ 14
誤差(mm)75
繰返し精度(μm)≦±0.3(位置決め)
ロストモーション(mm)≦ 0.001
真直度(μm)水平:≦ 2、垂直:≦ 2
真直度(mm)水平/垂直:75
バックラッシュ≦0.2μm
モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.017
自重(kg)1.8
使用モータ5相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: C090P-9015P)、2相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: PKP244D15B)、モーター軸径：Φ5mm オプションハンドル： A type
コネクタ形状丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
センサー型式F-115(HOME、LIMIT)/勝手違い: F-115R(HOME、LIMIT)
