種類xyステージ
テーブル長さ(mm)75
テーブル幅(mm)100
耐荷重(N)186(19kgf)
送り方式ボールネジ
リード(mm)1
移動ガイド精密クロスローラガイド
材質アルミ合金
色白色仕上げ
勝手SYA0750-R01-RRR
有効移動範囲(mm)± 25
分解能(μm)フル/ハーフ:1/0.5、マイクロステップ (1/20分割):0.05
最高速度(mm/s)10(Half 20kpps)
誤差(μm)≦ 12
誤差(mm)50
繰返し精度(μm)≦±0.3(位置決め)
ロストモーション(mm)≦ 0.001
真直度(μm)水平:≦ 1.5、垂直:≦ 1.5
真直度(mm)水平/垂直:50
バックラッシュ≦0.2μm
モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.13
自重(kg)1.9
使用モータ5相ステッピングモーター (オリエンタルモーター: PK524HPMB)、2相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: PKP225D15B2)、モーター軸径：Φ5mm オプションハンドル： A type
コネクタ形状丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
センサー型式F-115(HOME、LIMIT)/勝手違い: F-115R(HOME、LIMIT)
