移動方向XY軸2方向
仕様(送りねじ)ボールねじ
質量(kg)7
種類xyステージ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
繰返し精度(mm)±0.0005
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
スケールGSI製マーキュリー(ガラススケール、ケーブル長1m)
耐荷重(N)157
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.0007
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.2、ピッチ剛性：0.15、ロール剛性：0.15
XY直交度(mm)0.006
使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)0.002
ロストモーション(mm)0.0005
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
テーブル幅(mm)100
テーブル長さ(mm)90
ストローク(X距離)(mm)±15
ストローク(Y距離)(mm)±15
材質(テーブル)鋼材
