XY直交度(mm)0.01ストローク(X距離)(mm)±3ストローク(Y距離)(mm)±3種類xyステージテーブル長さ(mm)40テーブル幅(mm)40耐荷重(N)95.2送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)感度0.001mm質量(kg)0.4クランプ操作側板クランプ平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014目量マイクロメータ式0.002mm材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロムRoHS指令(10物質対応)対応操作位置サイド移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500移動量(ツマミ1回転)0.1mm
