移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、薄型のステージです。操作部取付位置はセンター、サイド、逆サイドがあります。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)125
耐荷重(N)255
送り方式MHN1-25T(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)4.3
感度0.003mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.05
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.003mmヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.05、ピッチ剛性 0.05、ロール剛性 0.03
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)192.1
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.030、運動の平行度:0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:1200、ピッチ:1200、ロール:1200
XY軸方向の微動ユニットです。移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用し、送り方式に送りねじを使用しています。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじP=0.5mm
移動ガイドアリ溝
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)真鍮/クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約0.5mm
超小型で非常に軽量なXY軸方向の微動ユニットです。小型センサ、マイクロオプティクス、ピンホールなど精密位置決め用途に広く利用いただけます。移動ガイドにシャフトスライドを使用していますので滑らかで安定した動きが得られます。ステージ面中央の穴は透過になっています。
種類xyステージ
移動ガイドシャフトスライド
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.05mm
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
【アリ溝(D-T方式)】軌道面として転がり接触ではなく、台形状のオスアリとメスアリのアリ溝機工を採用したすべり接触です。案内部はオスアリとメスアリのすり合わせの為、滑らかに摺動するように組み立てられています。他のステージに比べ、長ストロークで安価です。
用途低倍率顕微鏡、観察用TVカメラ焦準装置、試料の位置合わせなど。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)39.2
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
質量(kg)0.72
感度0.1mm
クランプレバー式
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置片ハンドル
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約18mm
1台
¥29,980
税込¥32,978
当日出荷
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)58.8
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.42
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.10、ピッチ剛性:0.40、ロール剛性:0.40
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)95.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.4
平行度(mm)0.030、運動の平行度:0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:500、ピッチ:500、ロール:500
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)49
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.33
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.20、ピッチ剛性:0.60、ロール剛性:0.60
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)39.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.23
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.40、ピッチ剛性 1.00、ロール剛性 1.00
移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-BTD2・ACB-BTD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
2mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにボールウェイを使用しています。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
耐荷重(N)14.7(1.5kgf)
移動ガイドボールウェイ
質量(kg)0.55
付属品検査合格証、六角穴付ボルト(低頭)M2.5 6本
材質ステンレス
移動方向XY軸2方向
移動量(mm)±25
ステージ寸法(mm)30×30
使用モータPK513PB相当(5相ペンタゴン結線、0.35A/相)
分解能(mm)0.002
送りねじリード(mm)1
移動精度(mm)HV:真直度(水平・垂直)0.015
位置決め精度(mm)0.02
繰返し精度(mm)±0.001
ロストモーション(mm)0.007
XY直交度(mm)0.01
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
表面処理低温黒色クロムメッキ
センサーリミット:ノーマルクローズ接点(ブレイク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブル専用ケーブル(ACB-STT2)を付属
仕様ボールねじ仕様(対称型)
種類xyステージ
1台
¥289,800
税込¥318,780
7日以内出荷
新規ステッピングモータを使用することで低振動、低騒音を可能にしました。移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
仕様●リミットセンサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●原点前センサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4):14
種類XYステージ
繰返し精度(mm)±0.002
適合ケーブルACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3
耐荷重(N)392(40kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドボールウェイ
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.04
使用モータPKP545N18B2
テーブル幅(mm)200
テーブル長さ(mm)200
原点センサノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにボールウェイを使用しています。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
耐荷重(N)14.7(1.5kgf)
移動ガイドボールウェイ
質量(kg)0.55
付属品検査合格証、六角穴付ボルト(低頭)M2.5 6本
材質ステンレス
移動方向XY軸2方向
移動量(mm)±25
ステージ寸法(mm)30×30
使用モータPK513PB相当(5相ペンタゴン結線、0.35A/相)
分解能(mm)0.002
送りねじリード(mm)1
移動精度(mm)HV:真直度(水平・垂直)0.015
位置決め精度(mm)0.02
繰返し精度(mm)±0.001
ロストモーション(mm)0.007
XY直交度(mm)0.01
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
表面処理低温黒色クロムメッキ
センサーリミット:ノーマルクローズ接点(ブレイク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブル専用ケーブル(ACB-STT2)を付属
仕様ねじ仕様(標準型)
種類xyステージ
1台
¥289,800
税込¥318,780
7日以内出荷
125mm×125mmmの透過型XYステージです。中央にΦ50mmの透過穴があります。下ステージ、中ステージ、上ステージの三枚重ねになっているので通常のXYステージより薄く軽量です。
耐荷重(N)78.4(8kgf)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)1.3
材質アルミ合金
ステージ寸法(mm)125×125
クランプ板クランプ
取付場所操作部:センター
目量(mm)マイクロメータ式0.01
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.02
平行度(mm)0.1
XY直交度(mm)0.05
表面処理黒アルマイト梨地
種類xyステージ
送り方式移動機構:MHN1-25T(標準マイクロメータ)
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
耐荷重(N)39.2
送り方式送りねじ
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
移動方向XY軸2方向
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
材質(テーブル)アルミ合金
マグネットの吸着を利用した新しい製品です。今までにない驚異の薄さ8mmを実現しました。従来の製品から構造を変えた低価格な製品です。RoHS規制10物質不含有品です。
移動ガイドV溝と鋼球
材質鋼材
クランプ板クランプ
移動量(mm)±6.5
表面処理黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
種類xyステージ
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)144.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.6
平行度(mm)0.030、運動の平行度:0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:800、ピッチ:800、ロール:800
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)144.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.6
平行度(mm)0.030、運動の平行度:0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:800、ピッチ:800、ロール:800
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)192.1
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.030、運動の平行度:0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:1200、ピッチ:1200、ロール:1200
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)95.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.4
平行度(mm)0.030、運動の平行度:0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:500、ピッチ:500、ロール:500
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)239.1
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.030、運動の平行度:0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:1500、ピッチ:1500、ロール:1500
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)239.1
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.030、運動の平行度:0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:1500、ピッチ:1500、ロール:1500
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)58.8
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.42
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.10、ピッチ剛性:0.40、ロール剛性:0.40
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)49
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.33
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.20、ピッチ剛性:0.60、ロール剛性:0.60
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)78.4
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.5
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.06、ピッチ剛性:0.20、ロール剛性:0.20
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.11
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 2.00、ピッチ剛性 2.00、ロール剛性 2.00
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.11
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 2.00、ピッチ剛性 2.00、ロール剛性 2.00
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)78.4
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.5
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.06、ピッチ剛性:0.20、ロール剛性:0.20
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)39.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.23
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.40、ピッチ剛性 1.00、ロール剛性 1.00
クランプレスの、位置調整後に動かないステージです。
特殊機構により、バックラッシを防止しています。
位置調整は、六角レンチを使用します。
常に位置調整が必要なワークより、むしろカメラやセンサなど、位置調整後に移動させたくないワークに最適です。
水平設置だけでなく、垂直・逆さ方向の設置も可能です。
材質アルミ合金/黒アルマイト梨地
質量(kg)0.04
種類xyステージ
表面処理黒アルマイト梨地
クランプクランプレス
耐荷重(N)4.9(0.5kgf)
RoHS指令(10物質対応)対応
ステージ寸法(mm)25×25
送り方式移動機構/送りねじ:P=0.5mm
移動ガイドすり合わせ
移動量(mm)±3
1台
¥55,980
税込¥61,578
3日以内出荷
ロックレス機構を採用した、位置調整後に動かないステージです。自然ロック式により、バックラッシを防止しています。位置調整は、六角レンチを使用します。(※六角レンチは付属しておりません。)
種類xyステージ
移動ガイドすり合わせ
クランプなし(自然ロック式)
平行度(mm)0.075
バックラッシ(mm)0.001
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
クランプレスの、位置調整後に動かないステージです。
特殊機構により、バックラッシを防止しています。
位置調整は、六角レンチを使用します。
常に位置調整が必要なワークより、むしろカメラやセンサなど、位置調整後に移動させたくないワークに最適です。
水平設置だけでなく、垂直・逆さ方向の設置も可能です。
材質アルミ合金/黒アルマイト梨地
種類xyステージ
表面処理黒アルマイト梨地
クランプクランプレス
耐荷重(N)24.5(2.5kgf)
RoHS指令(10物質対応)対応
移動ガイドすり合わせ
20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにV溝とクロスローラを採用し非常に高精度な移動が可能です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)14.7
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)0.32
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.0005
センサーリミットセンサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、ホールIC
分解能0.001mm
適合ケーブルACB-STS2
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.008
使用モータPK513PB相当(5線式ペンタゴン結線、0.35A/相)
送りねじリード(mm)0.5
位置決め精度(mm)0.015
ロストモーション(mm)0.0005
最高速度(mm/s)8(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
¥189,800
税込¥208,780
5日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合3、4インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、薄型軽量のステージです。操作部取付位置はセンター、サイド、逆サイドがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)90
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)78.4
送り方式CMH-15F(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)0.85
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合8インチ、300mm用
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥71,980
税込¥79,178
20日以内出荷
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)39.2
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
質量(kg)0.9
感度0.1mm
クランプレバー式
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置粗微動片ハンドル
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)粗動1回転約25.5mm・(ツマミ1回転)微動1回転約3.3mm
1台
¥49,980
税込¥54,978
3日以内出荷
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
【アリ溝(D-T方式)】軌道面として転がり接触ではなく、台形状のオスアリとメスアリのアリ溝機工を採用したすべり接触です。案内部はオスアリとメスアリのすり合わせの為、滑らかに摺動するように組み立てられています。他のステージに比べ、長ストロークで安価です。
用途低倍率顕微鏡、観察用TVカメラ焦準装置、試料の位置合わせなど。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)39.2
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
質量(kg)0.54
感度0.1mm
クランプレバー式
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置片ハンドル
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約18mm
1台
¥27,980
税込¥30,778
7日以内出荷
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。
送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。
カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。
任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)140
耐荷重(N)39.2
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
質量(kg)1.07
感度0.1mm
クランプレバー式
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置片ハンドル
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約18mm
1台
¥41,980
税込¥46,178
3日以内出荷
移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
付属品アルミプレート、アダプタ、検査合格、六角穴付きボルト(アダプタ取付用)M3 4本
材質アルミ合金
質量(kg)3.3(アルミプレートを除く)
種類xyステージ
表面処理黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.002
適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
耐荷重(N)29.4(3kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直)
移動量(mm)X軸±50、Y軸±25
使用モータPKP523N12A
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)40(20000pps時)
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
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