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超小型で非常に軽量なXY軸方向の微動ユニットです。小型センサ、マイクロオプティクス、ピンホールなど精密位置決め用途に広く利用いただけます。移動ガイドにシャフトスライドを使用していますので滑らかで安定した動きが得られます。ステージ面中央の穴は透過になっています。
種類xyステージ
移動ガイドシャフトスライド
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.05mm
移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-BTD2・ACB-BTD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
ロックレス機構を採用した、位置決め後に動かないステージです。
自然ロック式により、バックラッシを防止しています。
位置調整は、六角レンチを使用します。※六角レンチは付属しておりません。お客様にてご用意ください。
常に位置調整が必要なワークよりも、カメラやセンサなど、位置調整後に移動させたくないワークに最適です。
スペーサほどの薄さ(8mm)で位置決めが可能です(Xステージの場合)。
送りねじの配置をテーブル中心とすることで出っ張りの少ない形状を表現しており、特に狭小部への設置に有効です。
水平設置だけでなく、垂直・逆さ方向の設置も可能です。
耐荷重(N)24.5
送り方式送りねじP=0.7mm
移動ガイドすり合わせ
クランプなし(自然ロック式)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動量(ツマミ1回転)約0.7mm
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)150
耐荷重(N)245
送り方式MHD-50MB(デジタル表示式マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)10.3
感度0.001mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.06
目量デジタル表示式マイクロメータ0.001mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
操作位置センター
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.02、ピッチ剛性:0.02、ロール剛性:0.01
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
1個
¥349,800
税込¥384,780
15日以内出荷
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)58.8
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.42
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.10、ピッチ剛性:0.40、ロール剛性:0.40
移動ガイドにV溝とクロスローラをを採用した高精度の自動XYステージです。
移動ガイドにはクリーンルームグリスを塗布しています。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.001
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)鋼材
XY軸方向の微動ユニットです。移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用し、送り方式に送りねじを使用しています。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじP=0.5mm
移動ガイドアリ溝
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)真鍮/クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約0.5mm
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、薄型のステージです。操作部取付位置はセンター、サイド、逆サイドがあります。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)125
耐荷重(N)255
送り方式MHN1-25T(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)4.3
感度0.003mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.05
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.003mmヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.05、ピッチ剛性 0.05、ロール剛性 0.03
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。
送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。
カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。
任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)140
耐荷重(N)39.2
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
質量(kg)1.19
感度0.1mm
クランプレバー式
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置粗微動片ハンドル
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)粗動1回転約25.5mm・(ツマミ1回転)微動1回転約3.3mm
1台
¥59,980
税込¥65,978
3日以内出荷
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)29.4
送り方式CMH-13RM(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドHG-VCR方式(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.58
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸0.002、Z軸0.003
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
ハイグレードアルミXYステージとハイグレードZ昇降、微動回転ステージを組み合わせたXYZ回転ステージです。標準型、対称型があり左右対称が構成できます。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)29.4
送り方式(XYZ軸)CMH-13RM、(回転軸)CMH-6.5RA (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XYZ軸)HG-VCR(V溝とクロスローラ)、(回転軸)すり合わせ
質量(kg)1.11
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み10′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.01mm4°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
ステージ寸法(mm)Φ70
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.002、(Z軸)0.005、心円度(回転軸)0.04、面振れ(回転軸)0.02
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.7°
FA用途を強く意識した、高速、急停止、短時間整定が可能なXY自動ステージです。高速移動、急停止の繰り返しをした場合に、約60msで整定するため、例えば150mm×150mm内のワークパターン約1万箇所の全数検査範囲を約17分で走査可能です。繰り返し精度±0.002mmのため、高倍率顕微鏡視野内(約Φ0.1mm)の位置再現性も十分にあります。メーカー製の超高速追従型オートフォーカス顕微鏡システムと組み合わせることで、外観検査などに最高のパフォーマンスを発揮します。
耐荷重(N)49(5kg)
移動ガイドV溝とクロスローラ
幅(mm)200
奥行(mm)280
高さ(mm)200
付属品フラットベース、検査合格証、六角穴付きボルト(本体固定用)M6 4本、六角穴付きボルト(フラットベース固定用)M6 4本、ACケーブル、センサケーブル、モータケーブル、QT-Aコントローラ接続用ケーブル
材質アルミ合金
移動方向XY軸2方向
使用モータαステップモータ ARM46AC相当品
分解能(mm)0.002
送りねじリード(mm)2
繰返し精度(mm)±0.002
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)100
表面処理黒アルマイト梨地
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
センサーリミット:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
型番ドライバ:QT-ARD2
入力電源AC100~115V 50/60Hz 最大6.0A
軸数駆動:2軸
駆動方式2相ステッピングバイポーラ方式
電流(A)駆動:0.49/相
分解能切換:0.002mm(初期値)、(内部スイッチにより0.004mm、0.0004mm、0.0002mm切換可)
入力信号駆動パルス パルス方式→2パルス方式(初期値)、(内部スイッチにより1パルス方式切換可)、最大パルス周波数→250KHz(50%デューティー時)、パルス電圧→+5V、対応信号形態→オープンコレクタ、ラインドライバ
適合ステージ:MSS-H200A、またはMSS-H300A専用
コントローラ推奨:QT-AMH2、QT-ADM2
新規ステッピングモータを使用することで低振動、低騒音を可能にしました。移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
仕様●リミットセンサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●原点前センサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4):14
種類XYステージ
繰返し精度(mm)±0.002
適合ケーブルACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3
耐荷重(N)392(40kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドボールウェイ
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.04
使用モータPKP545N18B2
テーブル幅(mm)200
テーブル長さ(mm)200
原点センサノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。
ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)200
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)392
送り方式送りねじ
移動ガイドボールウェイ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)2
ロストモーション(mm)0.002
材質(テーブル)アルミ合金
移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。
ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)200
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)392
送り方式送りねじ
移動ガイドボールウェイ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)5
ロストモーション(mm)0.005
材質(テーブル)アルミ合金
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