あらゆる産業を支える基礎技術のひとつである真空技術。本書では、半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。できるだけ数式を使わず、理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。
ジャンル機械
分類専門
判型A5
ページ数219
著者名宇津木勝
初版年月2011/05
1冊
¥2,500
税込¥2,750
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