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データトランスファーチェッカー北陽電機￥189,800税込￥208,780
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SEMI E84の事前/事後チェックにご利用ください。2種類のアプリケーションソフトにより、搬入前の移載シミュレーションと、稼動後の移載トラブル解決に光通信ログデータをDMG/DMJから読み出し、パソコンにタイミングチャートでわかりやすく表示。
構成BNC-HB1、EPK-BNC1、ACアダプタ(ケーブル長1.2m)、BNC-HB1用ケーブル300mm、アプリケーションソフト(SFOC、RIS)
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