駆動部にクロスローラウェイを用いた、精密薄型XYステージです。高耐荷重(20kg)タイプです。
仕様●マイクロメータ最少読み取り：0.01mm/0.005mm(オプション)●駆動分解能：0.01mm
材質プレート/アルミ(黒アルマイト)、駆動部/鉄、ステンレス等
ストローク(mm)マイクロメータ：±6.5
高さ(mm)ステージ面：34
耐荷重(kg)20f
移動量(mm)1回転当たり：0.5
ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。
表面処理金メッキ
ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。
表面処理黒アルマイト
ガラス面とホットプレート面の距離が3.5mmで高倍率での顕微鏡観察に対応します。ガラスチャンバー窒素ガス封入式のホットプレートです。ヒーターにはセラミックヒーターを採用し高速昇温が可能です。
材質(プレート) アルミニウム
寸法(mm)(ホットプレート) 60×34
最高温度(℃)200
温度精度±2%
寸法(Φmm)(ガス導入部) 4
電源AC100V 100W
電源コード2m
最高温度400℃対応の真空ホットプレートチャンバーです。観察窓によりワークの状態が視認できます。金属、ウェハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での高速昇温加熱プロセスに適します。
材質(プレート) アルミニウム
最高温度(℃)400(使用時)
ポートワンタッチ継ぎ手Φ6mm
電源コード(m)2
最高温度(℃)1000
材質(プレート) 耐熱合金
寸法(mm)50×50
センサーK熱電対
電源AC100V 50/60Hz 1000W
電源コード(m)2
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