高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。
専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。
半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
リモートアクチュエータ(SGDC)専用のコントローラとアクチュエータの切替スイッチボックスです。
仕様【<リモートコントローラ>共通仕様】制御軸数:1軸、電源電圧：DC6V、皮相電力：30VA、ACアダプタ：AC100～240V±10%、駆動方式：PWM制御、リミット検出：過負荷検出方式、制御モータ：DCモータ(DC6V)、動作温度：5～40℃、周囲湿度：20～80%RH(非結露)、操作スイッチ：変速、微動、JOG、【個別仕様】インターフェイス:-、制御信号：-、外形寸法：82×100×24mm(突起物を除く)、質量：0.15kg
アズワン品番61-6982-48
1個
￥25,980
税込￥28,578
12日以内出荷
独自のウォームギア機構により、全移動量(13mm)にわたり粗動・微動の操作が可能な製品です。コンパクトなデザインにより、装置の小型化や調整時間の削減が可能です。
仕様【<ウォーム式粗微動マイクロメータヘッド>共通仕様】移動量:粗動：0～13mm 微動：0～13mm、許容荷重(静荷重)：39.2N(4kgf)、最小読取：粗動：0.005mm 微動：0.0005mm、移動量/1回転：粗動：0.25mm 微動：0.005mm、質量：0.1kg、【個別仕様】先端形状:Rタイプ
アズワン品番61-6982-09
1個
￥20,980
税込￥23,078
12日以内出荷
手動ステージ、ホルダーなどに使用している移動量15mm以下のマイクロメーターヘッドです。
手動ステージ、ホルダーなどに使用している移動量15mm以下のマイクロメーターヘッドです。
6軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ、Z軸フラットスチールステージ、θ軸粗微動ステージ、αβ軸小型ゴニオステージ、αβ軸ゴニオステージを組合せたものです。
4軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ・Z軸フラットスチールステージ・θ軸粗微動ステージを組合せたものです。
3軸方向の微調整用精密ステージです。θ軸(回転)ステージを最上部に配置しているため、XY軸ステージにて心出し(例えば顕微鏡の目盛板との心出し調整)調整後、同心上でサンプルなどを回転させることができます。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れたXY軸直動ステージです。ロングタイプはステージ面が長方形で、長い移動量を確保したい場合に有効です。
仕様テーブル面サイズ:100×160mm、マイクロ操作位置:サイド、移動量:±25mm、移動量/1回転:0.5mm、マイクロメータ最小読取:0.01mm、移動ガイド:ボールガイド、主要材質:鉄、表面処理:スーパーブラッククロム、耐荷重:686N(70.0kgf)、移動精度/真直度:1μm、移動精度/ピッチング:25″、移動精度/ヨーイング:15″、許容モーメント荷重/ピッチング:41.7N・m、許容モーメント荷重/ローリング:41.7N・m、許容モーメント荷重/ヨーイング:19.6N・m、モーメント剛性/ピッチング:0.05″/N・cm、モーメント剛性/ローリング:0.05″/N・cm、モーメント剛性/ヨーイング:-、平行度:100μm、移動平行度:30μm、質量:4.8kg
アリ溝にウォームギアを採用した姿勢調整(角度調整や補正)に使用するゴニオステージです。
粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式のθ軸(回転)粗微動ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
主要素材にアルミを使用していますが、移動ガイドにボールガイドを採用しているため、高耐荷重にも優れています。
V溝ガイドとネジ送り方式を採用したコストパファーマンスに優れたゴニオステージです。ネジ送り機構は接触面積が大きく耐久性に優れています。
V溝ガイドとネジ送り方式を採用したコストパファーマンスに優れたゴニオステージです。ネジ送り機構は接触面積が大きく耐久性に優れています。
□65mmでM6仕様、姿勢調整や試料の傾斜回転などに使用するアリ溝・ウォームギア式のαβ軸ゴニオステージです。
□65mmでM6仕様、姿勢調整や試料の傾斜回転などに使用するアリ溝・ウォームギア式のα軸ゴニオステージです。
アリ溝にウォームギアを採用した姿勢調整(角度調整や補正)に使用するゴニオステージです。
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