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ケース付きですので、一時的な保管や移動時に便利で、試料を安心して保管できます。 ケースは半透明で内部の観察も容易です。

フタ・本体間の遮断を2重化し、パーティクルの進入を防止します。 主要部分には導電化材料を使用しています。 本体とトップフランジ部の取り付け部分を補強しています。

耐熱性、剛性に優れておりますので、高温処理後のウエハの収納に適しております。

300mmウェハー出荷容器です。 SEMI規格準拠のロードポートに対応しています。 手動での開閉でも治具は不要です。

アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。 独自のクッション構造により、落下・輸送・振動に強い構造となっております。 気密性に優れています。

ウェハーの出荷・保管用の容器です。ウェハーの表を下にして収納します。 ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。スプリングでウェハーを固定します。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。 オールポリプロピレン製。

保管・移動時に便利です。CWC-2Pはフタ付き、CWC-4Pはケース付きですので、一時的な保管や移動時に便利で、試料を安心して保管できます。ケースは半透明で内部の観察も容易です。保管・移動時に便利。フタ付きですので、一時的な保管や移動時に便利で、試料を安心して保管できます。SCC洗浄品は超純水洗浄加工(16mΩ以上)を施し、クラス100の高清純度下で無塵パックしています。

保管・移動時に便利です。CWC-2Pはフタ付き、CWC-4Pはケース付きですので、一時的な保管や移動時に便利で、試料を安心して保管できます。ケースは半透明で内部の観察も容易です。保管・移動時に便利。SCC洗浄品は超純水洗浄加工(16mΩ以上)を施し、クラス100の高清純度下で無塵パックしています。

耐熱性、剛性に優れておりますので、高温処理後のウエハの収納に適しております。厚みのあるウエハが収納出来ます。

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

酸・アルカリ等の耐薬品性に優れ被洗浄物に傷を付けたりする心配がありません。

サイドウォールにはウォッシュスロットを設け、洗浄、水切り、乾燥効果を高めています。

取り出しやすく、積み重ねもできます。

高真空対応、低アウトガスタッチスイッチ[GNシリーズ]は、真空環境で問題となるアウトガスを極力排出しない優れた性能を誇ります。 GNシリーズは、アウトガスの発生がない部品を使用し、10-5Paの高真空環境まで対応可能です。 クリーンルームで製造を行い、コンタミネーション対策を徹底しているため、半導体製造ラインなどでも多く採用されています。 アウトガスの少ない材質と接着剤を使用し、高真空環境専用の位置決めスイッチとして最適です。 高真空度クラス 10-5Pa 対応 低アウトガス対応の材質・接着剤・コード使用

押しボタンによる動作方式で検出体の材質、色、反射率などの影響なく検出有無を判断可能。半導体ウェハーキャリア(FOUP、FOSBなど)の移送到着有無検出に最適。投/受光素子を使用した光学式動作原理で500万回以上の機械寿命を保障。3面の動作表示灯。ねじ締結部にスリーブ採用で設置時の製品破損防止