進化を続ける半導体産業の基盤であるウェハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。サンプルキープ用としても活躍します。
材質ポリカーボネート、エラストマー
進化を続ける半導体産業の基盤であるウェハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。低有機汚染性能を追求したモデルです。
材質ポリカーボネート、エラストマー
収納枚数(枚)25
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合6、8インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥52,980
税込¥58,278
50日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合3、4インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合4、5、6インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合8インチ、300mm用
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥71,980
税込¥79,178
20日以内出荷
高真空対応、低アウトガスタッチスイッチ[GNシリーズ]は、真空環境で問題となるアウトガスを極力排出しない優れた性能を誇ります。
GNシリーズは、アウトガスの発生がない部品を使用し、10-5Paの高真空環境まで対応可能です。
クリーンルームで製造を行い、コンタミネーション対策を徹底しているため、半導体製造ラインなどでも多く採用されています。
アウトガスの少ない材質と接着剤を使用し、高真空環境専用の位置決めスイッチとして最適です。
高真空度クラス 10-5Pa 対応
低アウトガス対応の材質・接着剤・コード使用
用途アウトガス対策された材料で構成され、120℃までの温度に耐えることが可能です。
また、構成上、油やグリースなどは使用していません。
あらゆる生産設備や工作機械、ロボットの高精度な位置決めやワークや治具の有無検出などにご利用いただけます。
マイクロスイッチやリミットスイッチの置き換えとして採用実績多数
半導体製造装置
半導体ウェハーの有無検出(真空チャンバー内)
ガラス基板の位置決め(真空成膜装置、太陽光発電(PV)真空装置)
ガラス基板のアライメントやマスクのトレイ着座検出、キャリアの原点出し(FPD向け真空成膜装置)
人工衛星など航空宇宙関連設備でも採用実績
仕様当て方:直進
ストローク(mm)1.5(全体の動き)
タイプ外形:ネジ径
ねじピッチM5×0.5
使用温度範囲(℃)0~120 (氷結ないこと)
ケーブル長(m)0.5
材質(ケース)SUS304
寿命接点精度:300万回
ケーブルPTFEバラ線、AWG30相当
繰返し精度(μm)3
LEDLED無し
振動10~55Hz 複振幅1.5 X、Y、Z各方向
接触力0.5N
外径(mm)5
コンタクト形状端面 SR2
RoHS指令(10物質対応)対応
軸受種類メタル軸受け
関連資料製品カタログ(0.68MB) 位置決め タッチスイッチの選び方と用語を徹底解説(1.23MB) マイクロスイッチで失敗しないために絶対知っておきたい事(3.07MB) タッチスイッチ製品の「精度」を徹底比較(2.17MB) 導入事例(2.8MB) センサ改善事例(3.39MB)
取扱説明書(0.9MB)
IP等級IP40
ケーブル形状ストレート
ケーブルタイプバラ線
接点定格DC5V~DC24V 定常電流10mA以下(突入電流 20mA以下) LED付の場合、LEDに10mA以上の電流が流れないよう電流制限が必要です。
長期性能の向上
オール樹脂化
操作方法の変更が容易に出来ます。
ハンドルレバーの開閉方向の変更が可能
優れた操作性と安全性
材質(本体)U-PVC
使用温度範囲(℃)0~50
規格JIS10K
材質(シール)EPDM
最高使用圧力(MPa)1.0(10.2)
接続方式ウェハー形
寸法D2(mm)122
型番(ギヤボックス)TYPE1
接続ウエハー
寸法A1(mm)167
寸法A2(mm)64
ハンドル回転回数9.5
流体温度(℃)0~50
ハンドル形状レバー式
寸法D3(mm)160
材質(Oリング)EPDM
材質(ボディ)U-PVC
最高許容圧力(MPa[kgf/cm2])1.0(10.2)
材質(ダイヤフラム)EPDM
RoHS指令(10物質対応)対応
バルブ種類バタフライバルブ
はんだ端子バージョンについては、品番 ; 739-2930 739-2930 を参照してください。. 小型ウエハースイッチ - CK シリーズ. さまざまなスイッチ構成の Lorlin CK ロータリスイッチのメトリック製品です。これらのパネル取り付け型シングルウェハーロータリスイッチは、銀メッキの接点を持ち、調整可能な回転リミットストッパーを備えていますが、品番 ; 739-2921 739-2921 を除き、無停止の連続回転を特徴としています。. コンタクト定格:150 mA @ 250 V ac/dc 基板端子 耐電圧: 1500 V ac UL-VO 定格 ボディ径:27.5 mm 30 o インデックス ノンショーティング BBM(ブレーク・ビフォワ・メーク)接点 調整可能なストップと連続回転のオプション 長さ50mmのメトリック軸、直径6mmのスピンドルには、コレットノブを簡単に取り付けられるようにフラットがありません。ブッシュは長さ8 mmで、M10 x 0.75 mmのねじが付属しています。
仕様接点構成 = 4PSTコンタクト定格電流 = 150 mA @ 250 V acスイッチの位置の数 = 3コンタクトの数 = 4定格電圧 = 250 V ac, 250V dc深さ = 27.5mm幅 = 27.5mm実装タイプ = PCB末端様式 = スルーホール動作温度 Min = -30℃
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥699
税込¥769
5日以内出荷
押しボタンによる動作方式で検出体の材質、色、反射率などの影響なく検出有無を判断可能。半導体ウェハーキャリア(FOUP、FOSBなど)の移送到着有無検出に最適。投/受光素子を使用した光学式動作原理で500万回以上の機械寿命を保障。3面の動作表示灯。ねじ締結部にスリーブ採用で設置時の製品破損防止
形状押しボタンタイプ
保護構造IP50
検出方式押しボタンによる内部光軸の遮断方式
接続方式配線引出型
検出距離(mm)5
電源電圧(V)DC12~24
取得規格CE、UL、UKCA、EAC
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(0.39MB)
はんだ端子バージョンについては、品番 ; 739-2930 739-2930 を参照してください。. 小型ウエハースイッチ - CK シリーズ. さまざまなスイッチ構成の Lorlin CK ロータリスイッチのメトリック製品です。これらのパネル取り付け型シングルウェハーロータリスイッチは、銀メッキの接点を持ち、調整可能な回転リミットストッパーを備えていますが、品番 ; 739-2921 739-2921 を除き、無停止の連続回転を特徴としています。. コンタクト定格:150 mA @ 250 V ac/dc 基板端子 耐電圧: 1500 V ac UL-VO 定格 ボディ径:27.5 mm 30 o インデックス ノンショーティング BBM(ブレーク・ビフォワ・メーク)接点 調整可能なストップと連続回転のオプション 長さ50mmのメトリック軸、直径6mmのスピンドルには、コレットノブを簡単に取り付けられるようにフラットがありません。ブッシュは長さ8 mmで、M10 x 0.75 mmのねじが付属しています。
仕様接点構成 = 3PSTコンタクト定格電流 = 150 mA @ 250 V acスイッチの位置の数 = 4コンタクトの数 = 3定格電圧 = 250 V dc, 250V ac深さ = 27.5mm幅 = 27.5mm実装タイプ = PCB末端様式 = スルーホール動作温度 Min = -30℃
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥779
税込¥857
5日以内出荷
Lorlin CKSシリーズIP67シールドロータリスイッチ. CKSシリーズは、一般的なCKと同じ形状、フィット、電気定格を備えるように設計されています。 ただし、IP66 / IP67等級のフロントパネルシールが追加されています。 切り替え動作の減衰と軸遊びの低減により、さまざまな信号用途に適した高品質のシングルデッキ多極スイッチを確実に作成できます。 このスイッチには、各スイッチに対して最大12ポジションの極が最大4極あります。 はんだ又は基板端子のオプションもあります。. 英国製 費用効果の高いシングルウェハースイッチ 27.5 mm径の成形 標準30°インデックス はんだ又は基板端子 スイッチ当たり最大4極 最大12ポジション ショート(メークビフォアブレーク30°インデックスのみ)又はノンショート(ブレークビフォアメーク)コンタクト インデックスの抑制とシャフト遊びの低減によるスムーズな感触 IP66シール構造のフロントパネル 強い水流から保護 IP67シール構造のフロントパネル 水深1 mへの一時的な浸漬の効果に対する保護(補助が必要)
仕様定格電圧 = 250 V ac/dc, 24V dc幅 = 26.2 (Dia.)mm寸法 = 26.2 (Dia.) x 64.1mm末端様式 = Solder TagIP保護等級 = IP67接触タイプ = ノンショート
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥1,298
税込¥1,428
5日以内出荷
Lorlin CKSシリーズIP67シールドロータリスイッチ. CKSシリーズは、一般的なCKと同じ形状、フィット、電気定格を備えるように設計されています。 ただし、IP66 / IP67等級のフロントパネルシールが追加されています。 切り替え動作の減衰と軸遊びの低減により、さまざまな信号用途に適した高品質のシングルデッキ多極スイッチを確実に作成できます。 このスイッチには、各スイッチに対して最大12ポジションの極が最大4極あります。 はんだ又は基板端子のオプションもあります。. 英国製 費用効果の高いシングルウェハースイッチ 27.5 mm径の成形 標準30°インデックス はんだ又は基板端子 スイッチ当たり最大4極 最大12ポジション ショート(メークビフォアブレーク30°インデックスのみ)又はノンショート(ブレークビフォアメーク)コンタクト インデックスの抑制とシャフト遊びの低減によるスムーズな感触 IP66シール構造のフロントパネル 強い水流から保護 IP67シール構造のフロントパネル 水深1 mへの一時的な浸漬の効果に対する保護(補助が必要)
仕様定格電圧 = 250 V ac/dc, 24V dc幅 = 26.2 (Dia.)mm寸法 = 26.2 (Dia.) x 64.1mm末端様式 = PCBIP保護等級 = IP67接触タイプ = ノンショート°
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥1,298
税込¥1,428
5日以内出荷
適合流体空気(特に工場エア)現地で窒素に設定変更可能
電源リチウム電池
接続方式ウェハ(JIS10Kフランジによる挟み込み)
流体温度(℃)-10~60、90%RH以下
使用圧力(MPa)0~1未満(ゲージ圧)
付属品出力ケーブル5m付
RoHS指令(10物質対応)対応
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