高真空対応、低アウトガスタッチスイッチ[GNシリーズ]は、真空環境で問題となるアウトガスを極力排出しない優れた性能を誇ります。
GNシリーズは、アウトガスの発生がない部品を使用し、10-5Paの高真空環境まで対応可能です。
クリーンルームで製造を行い、コンタミネーション対策を徹底しているため、半導体製造ラインなどでも多く採用されています。
アウトガスの少ない材質と接着剤を使用し、高真空環境専用の位置決めスイッチとして最適です。
高真空度クラス 10-5Pa 対応
低アウトガス対応の材質・接着剤・コード使用
用途アウトガス対策された材料で構成され、120℃までの温度に耐えることが可能です。
また、構成上、油やグリースなどは使用していません。
あらゆる生産設備や工作機械、ロボットの高精度な位置決めやワークや治具の有無検出などにご利用いただけます。
マイクロスイッチやリミットスイッチの置き換えとして採用実績多数
半導体製造装置
半導体ウェハーの有無検出(真空チャンバー内)
ガラス基板の位置決め(真空成膜装置、太陽光発電(PV)真空装置)
ガラス基板のアライメントやマスクのトレイ着座検出、キャリアの原点出し(FPD向け真空成膜装置)
人工衛星など航空宇宙関連設備でも採用実績
仕様当て方:直進
ストローク(mm)1.5(全体の動き)
タイプ外形:ネジ径
ねじピッチM5×0.5
使用温度範囲(℃)0~120 (氷結ないこと)
ケーブル長(m)0.5
材質(ケース)SUS304
寿命接点精度:300万回
ケーブルPTFEバラ線、AWG30相当
繰返し精度(μm)3
LEDLED無し
振動10~55Hz 複振幅1.5 X、Y、Z各方向
接触力0.5N
外径(mm)5
コンタクト形状端面 SR2
RoHS指令(10物質対応)対応
軸受種類メタル軸受け
関連資料製品カタログ(0.68MB) 位置決め タッチスイッチの選び方と用語を徹底解説(1.23MB) マイクロスイッチで失敗しないために絶対知っておきたい事(3.07MB) タッチスイッチ製品の「精度」を徹底比較(2.17MB) 導入事例(2.8MB) センサ改善事例(3.39MB)
取扱説明書(0.9MB)
IP等級IP40
ケーブル形状ストレート
ケーブルタイプバラ線
接点定格DC5V~DC24V 定常電流10mA以下(突入電流 20mA以下) LED付の場合、LEDに10mA以上の電流が流れないよう電流制限が必要です。
シリコーンRTV(室温硬化タイプ)ゴムは、チューブやカートリッジなどの容器から押し出すことにより、空気中の湿気と反応して室温で硬化し、ゴム弾性体になります。
接着・シール、コーティング用として幅広く使われています。
用途接着・シール、コーティング用、電気絶縁シール用
絶縁破壊電圧(kV)23(1mm厚測定時)
種別一般工業用
使用温度範囲(℃)-50~200
破断伸度(%)350
比重1.05(23℃時)
体積抵抗率(Ωcm)5T
指触乾燥時間(分)6
硬さ(デュロメータA)30
引張強度(MPa[kgf/cm2])2.0[20]
硬化方式脱オキシムタイプ
外観ペースト状
熱伝導率(W/mk)0.21
比誘電率 50Hz3.0
誘電正接 50Hz5×10-3
引張せん断接着強さ(MPa)1.0(アルミ)
危険物の類別指定可燃物
シリコーンを主成分とした液状ガスケットです。液体なので、フランジ面の間隙をまんべんなく充填し、もれを完全に防ぎます。硬化後はゴム弾性体を形成するため優れた耐振動性、耐衝撃性を発揮します。
汎用液状ガスケット。
耐エンジンオイル性良好
耐ギヤオイル性良好
銅・銅合金を腐食するので、密封状態での銅・銅合金への使用は不可。
用途その他一般シール剤
伸び(%)320(硬化後)
引張強度(MPa[kgf/cm2])1.5(15)(硬化後)
硬度(JIS A)45(硬化後)
種類無溶剤タイプ(シリコーン系)
使用温度範囲(℃)-60~200(250)
液色灰色ペースト状
主成分シリコーン
比重1.55(25℃)
粘度(25℃)(Pa・s[P])20(200)
剪断接着力(MPa[kgf/cm2])0.8(8)(硬化後)
反応形態脱オキシム
表面乾燥時間(min)60
スランプ流動性流動性
取り外し性良
硬化時耐圧性(MPa[kgf/cm2])25℃:10(100)以上80℃:10(100)以上150℃:10(100)以上
未硬化時耐圧性(MPa[kgf/cm2])クリアランス0.1mm:0.07(0.7)クリアランス0.2mm:0.05(0.5)クリアランス0.5mm:0.01(0.1)
危険物の類別指定可燃物
危険物の品名可燃性固体類
蒸気圧が低く、高真空下でもオイルの蒸発が極めて少ないフッ素グリースです。
BARRIERTA SUPER IS/Vは、特にアウトガスの発生量が少ない。
用途半導体製造装置、真空装置、真空ポンプ、クリーンルームなどの軸受、摺動部。
オイルシール、Oリングなどの各種シール部。
タイプ高真空用
使用温度範囲(℃)-65~200
ちょう度2号
増ちょう剤PTFE
基油フッ素油
危険物の類別非危険物
エポキシ樹脂を主成分とした、常温硬化型構造用接着剤です。
各種材料・広範囲な接着が可能
用途金属、タイル、ガラス等の硬い材質の接着
主な用途金属、タイル、ガラス等の硬い材質の接着
硬度70(JIS D)
主成分本剤 エポキシ樹脂 硬化剤 ポリアミドアミン
可使時間(分)60(at25℃)
引張強度(MPa)65.7
外観主剤:淡黄色透明液状 硬化剤:淡褐色液状
反応形態付加反応
硬化時間(時間)24(at25℃)・2(at60℃)
粘度(Pa・s)主剤:13 硬化剤:30
危険等級Ⅲ
危険物の類別第四類
危険物の品名第四石油類
危険物の数量0.09L
RoHS指令(10物質対応)対応
危険物の性状非水溶性
被着材の素材金属
主なワークパネル・フレーム、パーツ、3次元形状
1セット(90g)
¥1,998
税込¥2,198
欠品中
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