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移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、薄型のステージです。操作部取付位置はセンター、サイド、逆サイドがあります。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)125
耐荷重(N)255
送り方式MHN1-25T(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)4.3
感度0.003mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.05
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.003mmヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.05、ピッチ剛性 0.05、ロール剛性 0.03
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)192.1
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)58.8
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.42
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.10、ピッチ剛性：0.40、ロール剛性：0.40
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)95.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.4
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)49
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.33
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.20、ピッチ剛性：0.60、ロール剛性：0.60
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)39.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.23
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.40、ピッチ剛性 1.00、ロール剛性 1.00
125mm×125mmmの透過型XYステージです。中央にΦ50mmの透過穴があります。下ステージ、中ステージ、上ステージの三枚重ねになっているので通常のXYステージより薄く軽量です。
耐荷重(N)78.4(8kgf)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)1.3
材質アルミ合金
ステージ寸法(mm)125×125
クランプ板クランプ
取付場所操作部：センター
目量(mm)マイクロメータ式0.01
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.02
平行度(mm)0.1
XY直交度(mm)0.05
表面処理黒アルマイト梨地
種類xyステージ
送り方式移動機構：MHN1-25T(標準マイクロメータ)
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)144.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.6
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)192.1
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1200、ピッチ：1200、ロール：1200
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)144.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.6
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)95.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.4
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)239.1
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)58.8
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.42
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.10、ピッチ剛性：0.40、ロール剛性：0.40
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)239.1
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)49
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.33
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.20、ピッチ剛性：0.60、ロール剛性：0.60
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)78.4
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.5
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.06、ピッチ剛性：0.20、ロール剛性：0.20
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.11
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 2.00、ピッチ剛性 2.00、ロール剛性 2.00
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)19.6
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.11
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 2.00、ピッチ剛性 2.00、ロール剛性 2.00
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)78.4
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.5
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.06、ピッチ剛性：0.20、ロール剛性：0.20
HG-VCR方式に主材質アルミ合金を採用し剛性、軽量を両立したステージです。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)39.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.23
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.40、ピッチ剛性 1.00、ロール剛性 1.00
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、薄型軽量のステージです。操作部取付位置はセンター、サイド、逆サイドがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)90
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)78.4
送り方式CMH-15F(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)0.85
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。操作部取付位置はセンター、サイドがあります。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)150
耐荷重(N)245
送り方式MHH1-50T(標準マイクロ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)9.8
感度0.003mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.06
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.003mmヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.02、ピッチ剛性 .0.02、ロール剛性 0.01
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
ハイグレードアルミXYステージと、ハイグレードZ昇降ステージを組み合わせたXYZステージです。
標準型、対称型があり左右対称が構成できます。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)14.7
送り方式(XY軸)CMH-6.5RA、(Z軸)CMH-6.5F(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドXY軸：HG-VCR方式(V溝とクロスローラ)、Z軸：V溝とクロスローラ
質量(kg)0.18
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸：0.002、Z軸：0.003
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
ハイグレードアルミXYステージと、軽量なZ軸および回転軸ステージを組み合わせたXYZ回転ステージです。
標準型、対称型があり左右対称が構成できます。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
移動方向XYZ軸4方向
質量(kg)0.28
種類xyzステージ/回転ステージ
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)目盛読み2°/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.027°)
耐荷重(N)9.8
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式(XY軸)CMH-6.5RA、(Z軸)CMH-6.5F、(回転軸)CMH-6.5RA(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドXY軸：HG-VCR(V溝とクロスローラ)、Z軸：V溝レールと鋼球、回転軸：すり合わせ
移動精度(mm)真直度/XY軸：0.002、Z軸：0.003、心円度/回転軸：0.02、面振れ/回転軸：0.02
XY直交度(mm)0.01
移動量(°)粗動360・微動±5
ストローク(X距離)(mm)±3
ストローク(Y距離)(mm)±3
ストローク(Z距離)(mm)0～5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約1.36°
ハイグレードアルミXYステージと、軽量なZ軸および回転軸ステージを組み合わせたXYZ回転ステージです。標準型、対称型があり左右対称が構成できます。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)14.7
送り方式(XYZ軸)CMH-13RM、(回転軸)CMH-6.5RA (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XYZ軸)HG-VCR(V溝とクロスローラ)、(回転軸)すり合わせ
質量(kg)0.5
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み10′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.020°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
ステージ寸法(mm)Φ39
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.002、(Z軸)0.003、心円度(回転軸)0.05、面振れ(回転軸)0.02
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.99°
ハイグレードアルミXYステージとハイグレードZ昇降、微動回転ステージを組み合わせたXYZ回転ステージです。標準型、対称型があり左右対称が構成できます。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)29.4
送り方式(XYZ軸)CMH-13RM、(回転軸)CMH-6.5RA (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XYZ軸)HG-VCR(V溝とクロスローラ)、(回転軸)すり合わせ
質量(kg)1.11
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み10′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.01mm4°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
ステージ寸法(mm)Φ70
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.002、(Z軸)0.005、心円度(回転軸)0.04、面振れ(回転軸)0.02
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.7°
ハイグレードアルミXYステージとハイグレードZ昇降、微動回転ステージを組み合わせたXYZ回転ステージです。標準型、対称型があり左右対称が構成できます。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)29.4
送り方式(XYZ軸)CMH-13RM、(回転軸)CMH-6.5RA (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XYZ軸)HG-VCR(V溝とクロスローラ)、(回転軸)すり合わせ
質量(kg)0.89
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み10′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.01mm6°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
ステージ寸法(mm)Φ60
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.002、(Z軸)0.003、心円度(回転軸)0.04、面振れ(回転軸)0.02
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.8°
ハイグレードアルミXYステージとハイグレードZ昇降、微動回転ステージを組み合わせたXYZ回転ステージです。標準型、対称型があり左右対称が構成できます。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)19.6
送り方式(XYZ軸)CMH-13RM、(回転軸)CMH-6.5RA (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XYZ軸)HG-VCR(V溝とクロスローラ)、(回転軸)すり合わせ
質量(kg)0.7
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み10′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.01mm8°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
ステージ寸法(mm)Φ50
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.002、(Z軸)0.003、心円度(回転軸)0.05、面振れ(回転軸)0.02
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.92°
XY軸、Z軸、回転軸のスリムステージを組み合わせた、XYZ回転ステージです。マイクロメータヘッドの向きを逆にしたタイプがあり、左右からの操作が可能です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)29.4
送り方式(XY軸)CMH-15F、(Z軸)CMH-13FM、(回転軸)CEH-13R (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XY軸)V溝とクロスローラ、(Z軸)V溝レールと鋼球、(回転軸)すり合わせ式
質量(kg)1.75
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み5′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.01mm°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
ステージ寸法(mm)Φ90
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.003、(Z軸)0.008、心円度(回転軸)0.04、面振れ(回転軸)0.02
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.5°
XY軸、Z軸、回転軸のスリムステージを組み合わせた、XYZ回転ステージです。マイクロメータヘッドの向きを逆にしたタイプがあり、左右からの操作が可能です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ/回転ステージ
耐荷重(N)29.4
送り方式(XY軸)MHN1-25T、(Z軸)CMH-13FM、(回転軸)CEH-13R (各軸標準マイクロメータ)
移動ガイド(XY軸)V溝とクロスローラ、(Z軸)V溝レールと鋼球、(回転軸)すり合わせ式
質量(kg)6.6
感度(XYZ軸)0.003mm
クランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み5′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.008°)
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
ステージ寸法(mm)Φ125
移動方向XYZ回転4方向
移動精度(mm)真直度(XY軸)0.003、(Z軸)0.005、心円度(回転軸)0.05、面振れ(回転軸)0.03
移動量(°)粗動360・微動±5
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.39°
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