気流可視化装置
クリーンルーム及びクリーン機器の気流を清浄空気で可視化します。HEPAフィルターで濾過した清浄空気と純水(別売)のミストにより、クリーンルーム内を汚染することなく気流状態を可視化します。ULPAフィルター(別売)に交換することにより、ISOクラス4(クラス10)の気流も見ることができます。
- 仕様
- 【ミスト発生量】約0.15L/min
- 種別
- 250×185×255
- 質量(kg)
- 5
- 使用温度範囲(℃)
- 18～28(周囲空気)
- 電源(V)
- AC100 50/60Hz
- 消費電力(W)
- 約32(70VA)
- 風量
- 約11～40L/min
- 集塵要素
- メインフィルター/HEPAフィルター
- 集塵効率(%)
- 0.3μm以上粒子を99.97以上
- アズワン品番
- 3-1407-01
- 内容量
- 1台
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