セラミック軸受
軸受の材料に窒化けい素系セラミックを用い、ふっ素高分子によって潤滑します。おもに真空・腐食性環境などに用います。
用途半導体製造装置、液晶製造装置、半導体検査装置、合成繊維製造装置、製缶装置、超音波モータ
仕様クリーン、真空、絶縁、耐食、非磁性
材質(外輪・内輪・玉)セラミック/窒化けい素、(保持器)ふっ素樹脂
係数12.3
許容回転速度(min-1)1000
RoHS指令(10物質対応)対応
内容量1個
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