99.99%以上の高純度Al2O3を採用した単結晶サファイア基板です。高精度な研磨仕上げ(Ra<0.2 nm)を行っており高い表面均一性を実現しています。耐熱性・耐薬品性に優れ高温プロセスや化学処理にも対応しています。クラス100環境で洗浄・包装されコンタミネーションリスクを最小化したパッキングです。片面研磨と両面研磨の2種類をご用意しております。