用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体窒素ガス(N2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM質量(g)約1000電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45動作差圧(kPa)50～300応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手1/4SWバルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)フルスケール流量100SCCM流量制御範囲2～100%F.S.電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下校正温度(℃)20
