用途計測・検査・評価装置用の位置決めに適した自動ステージです。
仕様(MIXスピード)30°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無、同心度:30μm
材質(ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
質量(kg)1.1
種類回転ステージ
テーブル径(Φmm)80
分解能0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
平行度(μm)50
耐荷重(N)98
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ウォームギヤ
移動ガイドベアリング方式
モーメント剛性(sec/N・cm)0.2
面振れ(mm)0.02
移動量(°)反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
位置決め精度(°)0.15/(繰り返し)0.02
ロストモーション(°)0.05
バックラッシ(°)0.08
原点センサ無