用途クリーンエア供給用フィルタとして。イオナイザーへのクリーンエア供給用に。液晶基板など非接触搬送時のクリーンエア供給用に。吸着搬送、真空破壊時のエアクリーン化。
ろ過度(μm)0.01(除去効率99.99%)管接続口径(IN側)R1/4 、(OUT側)Rc3/8使用流体圧縮空気、窒素ガス(N2)耐圧力(MPa)1.5耐差圧(MPa)0.5使用圧力(MPa)-0.095~0.99周囲温度および使用流体温度(℃)5~45処理流量(L/min[ANR])300~400質量(g)110材質(ボディ)ポリアミド材質(ケース)透明ポリアミド材質(エレメント)ポリプロピレン+ウレタン特性(組立・検査・包装)クリーンルームにて一貫生産洗浄脱脂洗浄付属品取付ねじ(M3 ×40)、平座金、ばね座金、各2個ねじの種類R、Rc