XY直交度(mm)0.01
ストローク(X距離)(mm)±50
ストローク(Y距離)(mm)±50
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)150
テーブル幅(mm)180
耐荷重(N)392
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
質量(kg)16
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
繰返し精度(mm)±0.0007
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.004
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.04、ピッチ剛性:0.03、ロール剛性:0.03
使用モータPK545NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)0.01
ロストモーション(mm)0.001
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)鋼材