ウェハー/特殊ケース

本体・フタともに帯電防止タイプです。

装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)

簡易パックタイプのボクセル登場。 強靭で高い伸縮性、復元性、耐久性に優れた特殊フィルムで製品を挟み込むため、ほかの緩衝材にはない耐衝撃性で製品の安全輸送が実現。 精密機器等の製品を衝撃や落下、振動から守ります。 先の尖ったものを入れて破れることなく空中でしっかり固定されます。 フィルムは復元性に優れ何度でも繰り返し使用できます。 フレームにあるツメを引っ掛けるだけで梱包が完成します。 容器が透明なため中身を取り出さずに確認が容易にできます。

ウェハーの出荷・保管用の容器です。ウェハーの表を下にして収納します。 ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。スプリングでウェハーを固定します。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。 オールポリプロピレン製。

取り出しやすく、積み重ねもできます。

使用済みシリコンウェハを再生加工して、再度プロセスに使用できるレベルにまで再生したシリコンウェハです。実験用、教育用など様々な用途に、少量からご提供します。

ケース付きですので、一時的な保管や移動時に便利で、試料を安心して保管できます。 ケースは半透明で内部の観察も容易です。

帯電防止剤は練り込みタイプですので持続性に優れています。 フタ付き(EY12・ER4Tを除く)

装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)

装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)

特殊帯電防止剤をコーティングしてあり、静電気の心配はありません。

装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)

装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)

装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)

本体・フタ共に導電性ABS製。シリコンパッキン付で気密性に優れています。本体とフタは横にスライドして簡単に脱着できる機構で、洗浄が容易に行えます。積み重ねて場所を取らずに保管ができます。

フタ・本体間の遮断を2重化し、パーティクルの進入を防止します。 主要部分には導電化材料を使用しています。 本体とトップフランジ部の取り付け部分を補強しています。

ハンドルのクリップでウェハーやマスクを簡単に固定できます。 脚部にはマスク用角形みぞの底にウェーハー用V字型みぞがあります。

ダイシングフレーム付きのウェハーを確実・効果的に運搬および保管できます。 洗浄により繰り返し使用が可能で、コスト削減と廃棄物低減に貢献します。

進化を続ける半導体産業の基盤であるウェハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。低有機汚染性能を追求したモデルです。

進化を続ける半導体産業の基盤であるウェハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。サンプルキープ用としても活躍します。

ワンハンドで、ホールド・持ち運びができます。

導電性ABS製の本体と、制電性ABS製のフタの組合せ。フタが透明なので、内容物の確認が行えます。シリコンパッキン付で気密性に優れています。本体とフタは横にスライドして簡単に脱着できる機構で、洗浄が容易に行えます。積み重ねて場所を取らずに保管ができます。