自動ステージ

HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ 仕様スケール付があります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

小型・薄型・高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。

6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。※ 透過照明で観察できる範囲は移動量よりも狭くなります。外観図のテーブル透過穴をご参照ください。

移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

サーボモーター搭載の 1 軸傾斜ステージ

FA用途を強く意識した、高速、急停止、短時間整定が可能なXY自動ステージです。高速移動、急停止の繰り返しをした場合に、約60msで整定するため、例えば150mm×150mm内のワークパターン約1万箇所の全数検査範囲を約17分で走査可能です。繰り返し精度±0.002mmのため、高倍率顕微鏡視野内(約Φ0.1mm)の位置再現性も十分にあります。メーカー製の超高速追従型オートフォーカス顕微鏡システムと組み合わせることで、外観検査などに最高のパフォーマンスを発揮します。

ステージ面が60mm角、ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにHG-VCR方式を使用した高剛性ステージです。送りねじは転造ねじを使用し、従来品より低価格です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広くご利用いただけます。

ステージ面が40mm角、ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにHG-VCR方式を使用した高剛性ステージです。送りねじは転造ねじを使用し、従来品より低価格です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広くご利用いただけます。

移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

空間上に回転中心を持つ傾斜ステージです。 移動ガイドにV溝とクロスローラを使用しています。 カメラ、センサなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにV溝とクロスローラを採用した高精度Z昇降ステージです。ステージ面が90mm×90mm、125mm×125mmそれぞれに移動量が異なるタイプがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。