自動ステージ ：「XYステージ」の検索結果

移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

2mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにボールウェイを使用しています。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

新規ステッピングモータを使用することで低振動、低騒音を可能にしました。移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにボールウェイを使用しています。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにV溝とクロスローラを採用し非常に高精度な移動が可能です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のガラスプレートです。標準付属のアルミプレートと交換することにより透過照明に対応いたします。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通の標準付属アルミプレートです。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

移動量50mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。 ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。 ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。

移動ガイドにV溝とクロスローラをを採用した高精度の自動XYステージです。 移動ガイドにはクリーンルームグリスを塗布しています。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。 ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。 ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。

6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。※ 透過照明で観察できる範囲は移動量よりも狭くなります。外観図のテーブル透過穴をご参照ください。

4インチ対応の移動量100mm×100mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

モータにドライバ・コントローラ・エンコーダ一体型のクールマッスルCM1を搭載しています。 RS-232Cにより、専門のプログラミング言語でモータへのプログラム、またダイレクトモードでの駆動が可能です。 顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。 標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

ステージ面が60mm角、ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにHG-VCR方式を使用した高剛性ステージです。送りねじは転造ねじを使用し、従来品より低価格です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広くご利用いただけます。

FA用途を強く意識した、高速、急停止、短時間整定が可能なXY自動ステージです。高速移動、急停止の繰り返しをした場合に、約60msで整定するため、例えば150mm×150mm内のワークパターン約1万箇所の全数検査範囲を約17分で走査可能です。繰り返し精度±0.002mmのため、高倍率顕微鏡視野内(約Φ0.1mm)の位置再現性も十分にあります。メーカー製の超高速追従型オートフォーカス顕微鏡システムと組み合わせることで、外観検査などに最高のパフォーマンスを発揮します。

ステージ面が40mm角、ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにHG-VCR方式を使用した高剛性ステージです。送りねじは転造ねじを使用し、従来品より低価格です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広くご利用いただけます。

20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにボールウェイを使用しています。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

ステージ面が40mm角、ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにHG-VCR方式を使用した高剛性ステージです。送りねじは転造ねじを使用し、従来品より低価格です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広くご利用いただけます。

ステージ面が60mm角、ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにHG-VCR方式を使用した高剛性ステージです。送りねじは転造ねじを使用し、従来品より低価格です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広くご利用いただけます。

機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。