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表示器付ローコストマスフローメータ MODEL 3810DSⅡ SERIES + 専用AC電源アダプタコフロック￥87,980～税込￥96,778～
1式
32日以内出荷
表示器付ローコストマスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。材質(シール)FKM使用圧力(MPa)0.0～0.5(G)バルブの有無なし耐圧(MPa)1.0(G)接続RC1/4センサー熱式センサー所要電力DC24V±5% 100mA温度係数FS±0.2%/℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)0～50材質(ボディ)接ガス部：SUS303、PTFE許容湿度(%)30～80(結露なきこと)イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
表示器付マスフローメータコフロック￥119,800～税込￥131,780～
1個
36日以内出荷
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローメータ(MM)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS
表示器付マスフローコントローラコフロック￥179,800～税込￥197,780～
1個
36日以内出荷
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローコントローラ(MC)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥129,800税込￥142,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ材質接ガス部：SUS316L、SUS316、FKM質量(g)約1200種類メータ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60通信方式RS485表示器一体型：4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45関連資料カタログ(0.77MB)応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手1/4SWバルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)流量制御範囲2～100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付ローコストマスフローメータ MODEL 3810DSⅡ SERIES + 専用AC電源アダプタコフロック￥99,980～税込￥109,978～
1式
32日以内出荷
表示器付ローコストマスフローメータ(ニードルバルブ一体型)です。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。また、ニードルバルブによって流量制御を行うことも可能です。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。材質(シール)FKM使用圧力(MPa)0.0～0.5(G)バルブの有無あり耐圧(MPa)1.0(G)接続RC1/4センサー熱式センサー所要電力DC24V±5% 100mA温度係数FS±0.2%/℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)0～50材質(ボディ)接ガス部：SUS303、PTFE二次側圧力(MPa)0許容湿度(%)30～80(結露なきこと)イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
液体用小型カルマン渦流量計 FM01 SERIESコフロック￥39,980～税込￥43,978～
1個
当日出荷から18日以内出荷
冷却水洗浄水をはじめとする液体の流量測定・監視に最適な小型カルマン渦流量計です。ボディ材質にはPPS樹脂を使用しており、信頼性・耐久性にも優れています。
適合流体冷却水、洗浄水など
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体窒素ガス(N2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体アルゴンガス(AR)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥209,800税込￥230,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測・制御による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体O2関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥179,800税込￥197,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥179,800税込￥197,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥209,800税込￥230,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体CO2関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥179,800税込￥197,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥189,800税込￥208,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM質量(g)約1200種類コントローラ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60通信方式RS485表示器一体型：4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45関連資料カタログ(0.77MB)応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手1/4SWバルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)流量制御範囲2～100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥179,800税込￥197,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥179,800税込￥197,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM質量(g)約1200種類コントローラ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60通信方式RS485表示器一体型：4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45関連資料カタログ(0.77MB)動作差圧(kPa)50～300応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手RC1/4バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)フルスケール流量500SCCM流量制御範囲2～100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥209,800税込￥230,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥199,000税込￥218,900
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥179,800税込￥197,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥199,000税込￥218,900
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体CO2関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥129,800税込￥142,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥139,800税込￥153,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥129,800税込￥142,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥149,800税込￥164,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥139,800税込￥153,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体CO2関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥149,800税込￥164,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体CO2関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥129,800税込￥142,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥129,800税込￥142,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥129,800税込￥142,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥129,800税込￥142,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ MODEL 8500MC SERIES + 専用AC電源アダプタコフロック￥159,800税込￥175,780
1個
76日以内出荷
表示設定器付マスフローコントローラです。
内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。
専用AC電源アダプタPSK-85により、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様シグナル/0-5V、通信/RS485、校正温度/20℃流体N2接続RC1/4表示器一体型
超音波流量計 FML-500 SERIESコフロック￥109,800税込￥120,780
1個
32日以内出荷
液体用の直管型超音波流量計です。接液部には耐薬品性に優れたNewPFAを採用し流路はシンプルなストレート構造で管内に障害物がなくメンテナンスが容易です。表示器一体型なので電源の結線のみで流量計測が可能であり、F.S.5L/MINまでの流量を高精度に測定することができます。
適合流体水、純水(気泡を含まないこと)
液体用小型カルマン渦流量計(テフロン) FM31 SERIESコフロック￥89,980～税込￥98,978～
1個
15日以内出荷から22日以内出荷
液体の流量測定・監視に最適な小型カルマン渦流量計です。接液部オールテフロンです。
用途接液部オールテフロン、オーリングレスで、半導体プロセスの液体流量監視に最適です。適合流体超純水・薬液等液体規格IP64(JIS C0920、防まつ構造)電源2～24VDC精度±3%F.S.(25℃)使用温度(℃)液体：0～90(凍結、沸騰なきこと)再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1周囲湿度(%RH)5～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)0～50材質(接液部)New PFA、Super PFA
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体炭酸ガス(CO2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体水素ガス(H2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体酸素ガス(O2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
空気(AIR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体空気(AIR)
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800～税込￥241,780～
1式
32日以内出荷
ヘリウムガス(HE)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体ヘリウムガス(HE)
