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メカニカルブースターポンプ排気装置 VMR-050シリーズ
ULVAC(アルバック)￥699,800税込￥769,7801台61日以内出荷メカニカルブースターポンプ・補助ポンプ・配管をコンパクトに一体化させた、小型の高真空排気装置です。仕様(吸気口)VG-40相当、電気消費量：1.5kVA質量(kg)42到達圧力(Pa)4.0×10^-2ポンプ(メイン)メカニカルブースターポンプ：833L/min(at 100Pa)、(補助)油回転真空ポンプ：200L/min
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