装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
用途装置テスト用 仕様0.2μm≦30 サイズ12インチ 直径(Φmm)300±0.2 タイプ製造:CZ、導電型:P型 グレードダミー(モニター)
直径(Φmm)300±0.2
タイプ製造:CZ、導電型:P型
グレードダミー(モニター)
仕上Vノッチ、両面ミラー
方位100(面)
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
製造方法CZ法
使用済みシリコンウェハを再生加工して、再度プロセスに使用できるレベルにまで再生したシリコンウェハです。実験用、教育用など様々な用途に、少量からご提供します。
用途製造プロセス用、研究開発用、実験用、教育用
抵抗値1-100Ω・cm
仕様パーティクル:不問
フタ・本体間の遮断を2重化し、パーティクルの進入を防止します。
主要部分には導電化材料を使用しています。
本体とトップフランジ部の取り付け部分を補強しています。
寸法D1(mm)44
アズワン品番2-5136-01
収納枚数(枚)26
溝ピッチ(mm)10
ウェハー径(Φmm)300
1個
¥151,200
税込¥166,320
63日以内出荷
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
抵抗値0.1~100Ω・cm
製造方法CZ法
位置【OF】110
方位【面】100
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合8インチ、300mm用
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥71,980
税込¥79,178
20日以内出荷
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
ベアシリコンウェハから半導体素子ができるまでの過程を体感できるセット内容です。教育現場での半導体についての説明などにご利用ください。
用途教育用
セット内容ベアウェハ(12インチ)、膜付きウェハ(12インチ) 、パターン付きウェハ(20mm角)、半導体素子(ダイオード/トランジスタ)
種類セット品
1セット
¥15,980
税込¥17,578
5日以内出荷
ウェハーの出荷・保管用の容器です。ウェハーの表を下にして収納します。
ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。スプリングでウェハーを固定します。
トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。
オールポリプロピレン製。
材質ナチュラルPP(ポリプロピレン)
長さ(mm)(OF)47.5±2.5
抵抗値0.1~100Ω・cm
製造方法CZ法
位置(OF)110
方位(面)100
ウェハー厚(μm)625±25
取り出しやすく、積み重ねもできます。
材質透明PC(ポリカーボネート)
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)
仕様(パーティクル)不問、(製造)CZ
型P型(導電型)
サイズ8インチ
直径(Φmm)200±0.5
グレードダミー(モニター)
厚さ(μm)725±25
仕上片面ミラー/裏面エッチング、Vノッチ
抵抗値≧1Ωcm
方位100(面)
1枚
¥8,998
税込¥9,898
当日出荷
進化を続ける半導体産業の基盤であるウエハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。サンプルキープ用としても活躍します。
材質ポリカーボネート、エラストマー
タイプ枚葉タイプ
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
300mmウェハー出荷容器です。
SEMI規格準拠のロードポートに対応しています。
手動での開閉でも治具は不要です。
材質本体/ポリカーボネート、溝板/PBT(ポリブチレンテレフタレート)
収納枚数25枚
外寸法(mm)(幅)389.5×(長さ)341.8×(高さ)330.5mm
アズワン品番2-4997-11
溝ピッチ(mm)10mm
ウェハー径(Φmm)Φ300
1個
¥55,980
税込¥61,578
当日出荷
長寿命:300万回(常温時)
発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm)50X336
軸数とシール形式1軸ベローズ
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合6、8インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥52,980
税込¥58,278
50日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合3、4インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合4、5、6インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
テープシールで気密性を確保します。
材質本体・フタ/セミプラスト(R)PC(PC)、フック・ヒンジ/セミプラスト(R)PP(PP)、リテーナー/PE
サイズ(mm)377×377×41
アズワン品番2-4995-01-77
径(mm)(ウェハー)300(12")
1個
¥19,700
税込¥21,670
当日出荷
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)
仕様(パーティクル)不問、(製造)CZ
型P型(導電型)
サイズ6インチ
直径(Φmm)150±0.5
グレードダミー(モニター)
厚さ(μm)625±25
仕上片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ
抵抗値≧1Ωcm
方位100(面)
1枚
¥7,998
税込¥8,798
当日出荷
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。
他サイズも対応可能です。
導電性能106以下です。
低汚染を追求した材質で製造されています。トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。パッキン付きですので、気密性に優れています。
セット内容本体・カバー・スプリング×各1枚
ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。
他サイズも対応可能です。
研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。
他サイズも対応可能です。
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