仕様●弁機能:クローズドセンタ(標準)、およびエキゾーストセンタ、プレッシャセンタ(オプション)、タンデムソレノイド●ポジション数:3ポジション使用温度範囲(℃)(雰囲気および使用流体)5~50ポート数5ポート使用圧力範囲(MPa)0.15~0.7作動方式内部パイロット形使用流体空気保証耐圧力(MPa)1.05取付方向自由最大作動頻度(Hz)5給油不要耐衝撃(m/s2)294.2配管接続口径Rc1/8流量特性音速コンダクタンスC(dm3/(s・bar))1.8、有効断面積(Cv値)(mm2)9(0.5)