管接続口径(IN側)Rc1/4、(OUT側)Rc1/4
ねじの種類R
ろ過度(μm)0.01(除去効率99.99%)
用途クリーンエア供給用フィルタとして。イオナイザーへのクリーンエア供給用に。液晶基板など非接触搬送時のクリーンエア供給用に。吸着搬送、真空破壊時のエアクリーン化。
付属品ブラケット、取付ねじ
仕様構造:ステンレス材料使用/処理:禁油処理 材質制限:なし
質量(g)100
使用圧力(MPa)-0.095〜1.5(圧縮空気)、-0.095〜0.99(窒素ガス)
材質(ケース)ステンレス
使用流体圧縮空気、窒素ガス(N2)
材質(ボディ)ステンレス
耐圧力(MPa)2.25(圧縮空気)、1.5(窒素ガス)
周囲温度および使用流体温度(℃)5〜45
材質(エレメント)ポリプロピレン+ウレタン
特性(組立・検査・包装)クリーンルームにて一貫生産
耐差圧(MPa)0.5
処理流量(L/min[ANR])80
洗浄脱脂洗浄