3ページ目: スイッチ/センサ/コントローラ

パネルアダプタ(2種類)と前面保護カバのセット。

・薄形9.8mm ・縦方向設置スペース約1/2 (ZSE/ISE30A比較) ・最大10台まで同時コピー可能。 ・3ステップ設定。

・エジェクタシステムZMシリーズにマウント可能。

・一体型、モニタ分離型を用意。 ・スイッチ出力、積算パルス出力、アナログ出力。 ・積算流量、瞬時流量切換可能。 ・IP65

・1接点、2接点が選択でき2接点式の場合、上下限 の設定が可能です。 ・耐酸塗装仕上げのため、塩害による塗装面の錆び 等を防止します。

ゲージ圧測定タイプの低圧の小型・高精度センサダイアフラム材質にハステロイC-22相当を採用することで高い耐腐食性を実現

1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar：CO2(8：2))に対応できる小形の流量センサです。 高精度・高応答 繰返し精度：±1%F.S.以内、表示精度：±3%F.S.以内、応答時間：50msec 流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。 双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。 液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。 オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。 継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。

設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。

遠隔ラインのモニタリングが可能

マイクロスイッチ式のため、スナップアクションによる安定した開閉が得られます。 耐振性にすぐれ、現場形として直接、機器に取付けてご使用することができます。 感圧エレメントにブルドン管を使用した圧力スイッチで、このブルドン管の動きにより、マイクロスイッチを直接作動させて、回路をON・OFFします。 液面制御、流量制御等、空圧、水圧、油圧その他各種の流体の圧力制御に適しています。

駆動機器だけでなく、空気圧システムのをきめ細かくサポートし、より使いやすく用途を広げる製品が揃っています。信頼性、応答性に優れた真空、正圧用小形圧力スイッチです。2画面3色表示で操作が簡単。CE規格及び、UL規格取得。

3色表示2画面表示の流量センサ。 温度センサを一体化。 40%小型化(メーカーPF2W比較) IP65対応、ノングリース仕様。 使用流体温度0～90℃ 塩化ビニル製配管タイプ：脱イオン水(純水)薬液に対応。