導電性真空ピンセット(ボタン押し離脱タイプ)

エアを引きっぱなしのため、ウエハーに近づけるだけでウエハーが吸着します。
ボタンひとつでウエハーの着脱が可能です。
本体は導電性に優れた炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ)を用いています。
吸着チップは耐薬品性、耐熱性、強靱性に優れた導電性PEEK樹脂を使用しています。