- 材質
- 本体：C3771B、ダイアフラム：NBR、弁材：PCTFE、その他：C3604B・SUS304
- 質量(kg)
- 1.8
- 電源(V)
- AC100(電源コード長さ3m)
- 最大流量(L/min)
- 25(P2=0.2MPa)
- 使用温度(℃)
- ー10～100(設定温度：ー10～100)
- 接続
- 入口：W22-14(山)袋ナット(P当り)、出口：M12×1(右)オネジ(Φ8ホース口付)
- 使用ガス
- MAG
- 一次側圧力(MPa)
- 2～15
- 二次側圧力計(MPa)
- 0.6
- ヒーター容量(W)
- 190(電流値1.9A)(190×1本)
- 二次側圧力(MPa)
- 0.1～0.3
- 標準流量(L/min)
- 25(P2=0.2MPa)
- フィルム厚さ(μm)
- 40
