材質接ガス主要部/本体:C3604B、Oリング:NBR、弁材:PCTFE、その他:SUS304・C3604B・PTFE質量(kg)2.7使用温度(℃)ー10~40(設計温度:ー10~75)フィルター粗さ/C3604B:40μm/SUS316:600メッシュ使用ガスO2、N2、Ar、Air、He、H2など標準流量(m3/h)O2、N2、Ar、Air:160/H2、He:320(P2=8MPa)一次側圧力(MPa)4~15最大流量(m3/h)O2、N2、Ar、Air:210/H2、He:420(P2=8MPa)二次側圧力(MPa)使用:1~8