- 材質
- 接ガス主要部/本体:C3604B、Oリング:NBR、弁材:PCTFE、その他:SUS304・C3604B・PTFE
- 質量(kg)
- 2.7
- 使用温度(℃)
- ー10~40(設計温度:ー10~75)
- フィルター
- 粗さ/C3604B:40μm/SUS316:600メッシュ
- 使用ガス
- O2、N2、Ar、Air、He、H2など
- 標準流量(m3/h)
- O2、N2、Ar、Air:160/H2、He:320(P2=8MPa)
- 一次側圧力(MPa)
- 4~15
- 最大流量(m3/h)
- O2、N2、Ar、Air:210/H2、He:420(P2=8MPa)
- 二次側圧力(MPa)
- 使用:1~8