ダイヤフラムバルブ

MEGA-ONE HM・高圧タイプ マニュアルオペレーションバルブ・MEGA-ONE HMは各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレーションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。高圧ガス大臣認定品としても対応可能です。バルブの開閉状態が一目で確認できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム。良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.39cc)。シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE HQ・MEGA-ONE HQは各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90°開閉ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。高圧ガス大臣認定品としても対応可能です。バルブの開閉状態が一目で確認できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム。良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.39cc)。シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-ONE LM・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ・NEW MEGA-ONE LMは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレ-ションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-ONE LMの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。シンプル&コンパクト・パネルマウント用のナットを省略、シンプル&コンパクト。バルブの開閉状態が一目で確認できる開閉表示付きです。良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)。シート材質は、 標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-ONE LS・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ(スイッチタイプ)・NEW MEGA-ONE LSは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90度開閉ダイヤフラムバルブです。・スプリングの力により安定したシール性能が維持できます。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・新ハンドルの採用によりヒューマンインターフェースを向上させたバルブです。開閉表示付きハンドルは非常に視認性に優れています。非常に操作しやすいハンドル形状です。優れた耐久性：2万回以上。バルブの開閉状態が一目で確認できます。・正確な開閉状態を示す表示機構・流れ方向を示す誤操作防止機構。パネルマウント対応。良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)。高耐久性ニッケル-コバルト合金製ダイヤフラム。オプションでハンドル色の変更も可能です。シート材質は、標準でPCTFEを採用しています・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

メタルダイヤフラムバルブ・メタルダイヤフラムバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性を達成したバルブです。・高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。ステンレス鋼製・16.2MPa。開閉状態が一目で確認出来ます。開閉位置表示付きハンドルです。過剰締付防止機構付きです。メタルダイヤフラムシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE LM・低圧タイプ・マニュアルオペレーションバルブ・MEGA-ONE LMは、各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレ-ションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。バルブの開閉状態が一目で確認できる開閉表示つきです。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム。良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.48cc)。オプションでハンドル色の変更も可能です.。シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。