4ページ目: 温調機器

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。 ・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 ・コンパクト W377×H615×D500、40kg ・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 ・自己診断機能。 ・海外輸出用装置に最適(単相AC200～230V、単相AC100V，115V) ・CEマーキング、ULに適合。

・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。 ・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 ・コンパクト W377×H615×D500、40kg ・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 ・自己診断機能。 ・海外輸出用装置に最適(単相AC200～230V、単相AC100V，115V) ・CEマーキング、ULに適合。

・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。 ・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 ・コンパクト W377×H615×D500、40kg ・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 ・自己診断機能。 ・海外輸出用装置に最適(単相AC200～230V、単相AC100V，115V) ・CEマーキング、ULに適合。

空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。 レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 自己診断機能。 CEマーキング、ULに適合。

・ペルチェ素子を使った、薬液の直接温調用熱交換器。 ・フッ素樹脂熱交換器で多様な薬液に対応可。 ・UL規格適合、CEマーキング。

・高精度温調が必要な用途に。 ・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。 ・シンプルな構造で高信頼性。 ・小型、低振動で装置内への組込みが容易。 ・ワイドな電源電圧に対応可。 ・UL規格適合、CEマーキング。

・高精度温調が必要な用途に。 ・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。 ・シンプルな構造で高信頼性。 ・小型、低振動で装置内への組込みが容易。 ・ワイドな電源電圧に対応可。 ・UL規格適合、CEマーキング。

・ペルチェ素子を使った、高精度温調恒温槽。 ・小型、低騒音。 ・独自の撹拌方式により上下温度分布が小さい。 温度安定性±0.01℃を実現 槽内温度分布±0.02℃を実現

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・ペルチェ素子を使った、薬液の直接温調用熱交換器。 ・フッ素樹脂熱交換器で多様な薬液に対応可。 ・UL規格適合、CEマーキング。

2.0/3.0相当馬力(HP)機種の冷却能力をアップしました。使用可能範囲の拡大でより使いやすく。ダイキン独自のIPMモータとインバータにより高い省エネ率を実現。コントロールパネルにて消費電力の確認が可能。標準品(200V)と同一寸法のため、異電圧でも設計変更不要。好評の高精度±0.1℃液温制御。圧縮機・インバータと電子膨張弁の最適な制御により、低負荷領域の能力分解能が向上。負荷0%(無負荷)～100%に亘って±0.1℃液温制御を実現。電装ボックス保護等級はIP54相当。電子部品の硫化対応品採用。実際の輸送条件に即した輸送振動性能。鉛フリーはんだのプリント基板採用など環境規制に対応。Hybrid-Winを使用して室温、液温、その他内部データをパソコンでモニタ可能。データを一括表示可能で運転状態の把握が容易に。冷媒ガス漏れ状態(冷却不能)時にアラーム信号を出力。機械に与えるダメージや機械加工の不良を予防。対象の液温や室温が任意に設定した温度範囲から外れた時にワーニング信号の出力が可能。搭載するシステム(タンク液量、配管等)に合わせた制御ゲインを自動的に設定するオートチューニング機能で、試運転調整時間を大幅に削減。運転開始時間を0～999時間後(1時間単位)で設定可能。エアフィルタ・凝縮器の目づまり時にメンテナンスをお知らせするワーニング信号を出力。サーミスタ異常(制御不能)時には別の運転モードで応急的に運転が可能。ライン停止影響を極小化。操作性の良いコントロールパネル。消費電力も表示。信号線接続時に工具が不要な差込端子台。オイルミストによる凝縮器目詰まりが起こりにくいエアフィルタ構造。

循環液用変換継手+ドレン口用変換継手

循環液用変換継手+ドレン口用変換継手

循環液用変換継手+ドレン口用変換継手

循環液用変換継手+ドレン口用変換継手

循環液：脱イオン水(純水)の電気伝導率表示、維持制御をおこないます。

循環液：脱イオン水(純水)の電気伝導率表示、維持制御をおこないます。

循環液：脱イオン水(純水)の電気伝導率表示

循環液吐出口用(お客様装置保護用)