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RoHS10物質対応(1)
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X Series(XLA)
SMC￥31,980～税込￥35,178～1個3日以内出荷から90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能
アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御・単動 XLDシリーズ XLD-40
SMC￥92,980～税込￥102,278～1個3日以内出荷から90日以内出荷フッ素に強い アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない仕様オーダーメイド仕様：標準フランジタイプKF(NW)ヒーターなし操作ポート方向フランジ側表面処理(ボディ)外部：硬質アルマイト、内部：素地オーダーメイド仕様標準温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし
XLH - アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール
SMC￥49,980～税込￥54,978～1個11日以内出荷から90日以内出荷フッ素に強い アウトガスが少ない 重金属汚染が少ないヒーター-
アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-16F
SMC￥37,980税込￥41,7781個90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能
アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLS-2
SMC￥39,980～税込￥43,978～1個3日以内出荷から11日以内出荷フッ素に強い アウトガスが少ない 重金属汚染が少ないバルブサイズKF25
ZR Series 大型真空ユニット 真空ポンプシステム
SMC￥49,980税込￥54,9781個23日以内出荷仕様【取出し方法】リード線：M形プラグコネクタタイプ(リード線長さ0.3m)、【手動操作】ノンロックプッシュ式、【真空切換弁・破壊弁の組合わせ】供給弁：電磁弁(N.C.)/破壊弁：電磁弁(N.C.)ブラケット同梱単位SI単位固定ランプ・サージ電圧保護回路ランプ・サージ電圧保護回路付出力仕様NPNオープンコレクタ2出力+コピー機能リード線コネクタ付リード線付(5芯リード線、長さ2m)RoHS指令(10物質対応)対応電磁弁定格電圧(V)DC24スイッチ/フィルタ組合わせ真空用デジタル圧力スイッチ(ZSE20A)+フィルタ
ZR100 - 真空ポンプシステム/単体
SMC￥28,980～税込￥31,878～1個9日以内出荷エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
XYH - ストレート型バルブ/手動/ベローズシール
SMC￥169,800税込￥186,7801個90日以内出荷ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません仕様シール材質:(R1) Chemraz SS592、シ-ル材質変更箇所とリーク量:(A) 内部 1.3 x 10^-8，外部 1.3 x 10^-9フランジタイプKF(NW)XYD - ストレート型バルブ/二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール
SMC￥84,980～税込￥93,478～1個90日以内出荷ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありませんXYC - ストレート型バルブ/複動/ベローズシール
SMC￥58,980～税込￥64,878～1個90日以内出荷ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありませんフランジタイプKF(NW)XYA - ストレート型バルブ/常時閉/ベローズシール
SMC￥57,980～税込￥63,778～1個11日以内出荷から90日以内出荷ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
XSA - XSA(New XSA) 常時閉型高真空電磁弁/継手タイプ
SMC￥22,980～税込￥25,278～1個11日以内出荷から90日以内出荷めねじタイプ(Rc、NPT)追加[New] 最低使用圧力：1×10-6Pa(abs) リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s 2種の継手を用意 消費電力：最大25%削減 質量：最大18%削減0.5kg→0.41kgXSA - XSA(New XSA) 常時閉型高真空電磁弁/めねじタイプ
SMC￥21,980～税込￥24,178～1個11日以内出荷から90日以内出荷めねじタイプ(Rc、NPT)追加[New] 最低使用圧力：1×10-6Pa(abs) リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s 2種の継手を用意 消費電力：最大25%削減 質量：最大18%削減0.5kg→0.41kgXMH - L型バルブ/手動/ベローズシール
SMC￥47,980～税込￥52,778～1個90日以内出荷ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありませんフランジタイプKF(NW)XMD - L型バルブ/二段制御・単動/ベローズシール
SMC￥74,980～税込￥82,478～1個90日以内出荷ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありませんXMC - L型バルブ/複動/ベローズシール
SMC￥46,980～税込￥51,678～1個90日以内出荷ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありませんXMA - L型バルブ/常時閉/ベローズシール
SMC￥43,980～税込￥48,378～1個11日以内出荷から90日以内出荷ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありませんXLS - アルミニウム製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス
SMC￥39,980税込￥43,9781個90日以内出荷フッ素に強い アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない仕様制御電源の有無:(-) 制御電源なし、起動電圧:(5) DC24V、リード線取出し:(T) ターミナル、CE対応:(Q) CE対応CE-対応品CE対応品バルブサイズKF16起動電圧DC24VXLG-2M9_J - アルミニウム製高真空L型バルブ/単動(常時閉)/ベローズシール
SMC￥73,980～税込￥81,378～1個90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地XLG-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/複動/Oリングシール
SMC￥37,980～税込￥41,778～1個3日以内出荷から90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能XLFV-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/電磁弁付/単動(常時閉)/Oリングシール
SMC￥42,980～税込￥47,278～1個90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能XLF-2M9_J - アルミニウム製 高真空L型バルブ/耐熱オートスイッチ付
SMC￥62,980～税込￥69,278～1個90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能フランジタイプKF(NW)表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地XLF-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/単動(常時閉)/Oリングシール
SMC￥36,980～税込￥40,678～1個90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能XLF - アルミニウム製高真空L型バルブ/常時閉/Oリングシール
SMC￥249,800～税込￥274,780～1個90日以内出荷フッ素に強い アウトガスが少ない 重金属汚染が少ないオーダーメイド仕様標準XLDV - アルミニウム製 高真空L型バルブ/電磁弁付/二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール
SMC￥84,980～税込￥93,478～1個90日以内出荷フッ素に強い アウトガスが少ない 重金属汚染が少ないXLD - アルミニウム製 高真空L型バルブ/二段制御，単動/ベローズシール・Oリングシール
SMC￥74,980～税込￥82,478～1個90日以内出荷フッ素に強い アウトガスが少ない 重金属汚染が少ないXLC-2M9_J - アルミニウム製 高真空L型バルブ/耐熱オートスイッチ付
SMC￥55,980～税込￥61,578～1個90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能フランジタイプKF(NW)XLC-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/複動/ベローズシール
SMC￥39,980～税込￥43,978～1個90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能XLAV-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/電磁弁付/単動(常時閉)/ベローズシール
SMC￥43,980～税込￥48,378～1個11日以内出荷から90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能XLA-2M9_J - アルミニウム製 高真空L型バルブ/耐熱オートスイッチ付
SMC￥63,980～税込￥70,378～1個90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能フランジタイプKF(NW)XLA-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/単動(常時閉)/ベローズシール
SMC￥36,980～税込￥40,678～1個3日以内出荷から90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能
XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ
SMC￥539,800～税込￥593,780～1個11日以内出荷から90日以内出荷長寿命：300万回(常温時) 発塵量：1/5以下に低減(従来品比) メンテナンス性向上 容易なベローズ交換 トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド) 安全対策 メカ式エンドロック機構採用適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応開口窓寸法(mm)50X336軸数とシール形式1軸ベローズ
アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-80
SMC￥169,800税込￥186,7801個90日以内出荷電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能仕様【使用圧力】1×10-6～大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く/外部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く材質本体：アルミ合金、ベローズ：SUS316L、要部：ステンレス、FKM(標準シール材)接続口径【パイロットポート】Rc1/8質量(kg)5.1フランジ80フランジタイプKF(NW)表面処理外部：硬質アルマイト、内部：素地使用流体不活性ガス系の真空弁形式常時閉(加圧開・スプリングシール)オートスイッチ個数1ケ付インジケータなしパイロット圧力(MPa[kgf/cm2])0.4～0.7オートスイッチ種類D-A93Lパイロットポート方向フランジ側表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし
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