2ページ目: 真空ポンプ・真空ユニット

独自の脈動吸収機構を内蔵した低振動のDC液体ダイアフラムポンプにブラシレスモータを採用して長寿命化を図り、耐用時間はメーカー従来製品の約10倍に向上しました。 小型でありながら広い使用圧力範囲を実現しており、また吐出流量をコントロールできるよう制御機能を装備しています。 気体ポンプ、真空ポンプとしても使用できます。

圧電ユニモルフ振動子を1枚搭載した小型モデルUPSAです。 モーターや軸の要らない画期的な原理(圧電ユニモルフ振動子)を 採用し、小型・軽量化を実現しました。 商用電源(AC100V、50/60Hz)で直接駆動することが可能で、 脈動も少なく、流量を容易に調節できます。 消費電力はきわめて少なく電磁ノイズの発生もありません。 まざまな液体・気体に対応でき、医療・理化学・工作機械などの 分野で幅広く活躍します。

油回転真空ポンプの排気側取付用部品です

大排気量でコンパクトサイズ。 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 大気圧から作動が可能。 全圧力帯での連続運転が可能。 シンプル構造で、メンテナンスが容易。

真空ポンプ油の逆流防止用(逆流防止機構未対応機種用)オプション部品です。

組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生 (供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止 (供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れがなく、長寿命化を実現。 吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放。 低騒音で低振動。 強制給油機構搭載により、排気速度が安定。 大気圧からの作動が可能。 内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応。 省エネ機能付真空用デジタル圧力スイッチにより、真空到達時供給エアカット：空気消費量 90%削減 エジェクタの効率化により：吸込流量 50%増加、：空気消費量 30%削減(メーカー1段エジェクタとの比較) 小型・軽量化：体積88cm328%減、：質量81g 59%減

接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。 クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。

GLS-051/GLD-051/GCD-051X用のベーンスプリングです。

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・省エネエジェクタ 真空到達時供給エアカット：空気消費量 93%削減(メーカー測定条件による) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・省エネ効果(金額換算)：93%削減 ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生※が可能 停電時のワーク落下を防止※ ※供給圧が確保されている場合IO-Link対応圧力スイッチを追加 一本の通信線でエジェクタ制御 機器情報の取込、パラメータ一括設定可能省エネエジェクタ 真空到達時供給エアカット：空気消費量 93%削減(メーカー測定条件による)エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較)省エネ効果(金額換算)：93%削減高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

DCブラシレスモータを使用した真空ポンプ/コンプレッサ兼用ポンプです。 ツインヘッドのダイアフラム方式を採用し小型でも高寿命・高圧力・低振動・低丈・メンテナンスフリー・無給油を実現しました。 より信頼性を必要とする医療器、分析器などの機器組込み用のエア源・真空源として最適です。

オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプで、オイルによるコンタミネーションの心配がありません。ロータリーエバポレーターやクロマトグラムの真空用途に適しています。接ガス部はすべてPTFE(四フッ化エチレン)塗装なので耐蝕性に優れています。リークバルブ付きですので真空度の調節が可能です。圧力ゲージ付きですので真空度の確認に便利です。

高効率(IE3)マルチ電圧モータを標準搭載しています。空冷方式のため、冷却水不要です。オイルミストトラップ(TM201・TM401)は排気ガスに含まれる油煙をトラップします。

ご好評いただいておりますオイルフリースクロール真空ポンプGVSシリーズに、トップランナー規制に準拠したIE3(高効率)モーターを搭載し、GVS-500E/501E，GVS-1000Eとして新登場しました。 ポンプ部に潤滑油や封水を使用しておらず、接ガス部に軸受等一切ありませんので、完全なドライタイプで、クリーンな真空が得られ、油煙もありません。 長時間の運転でも真空度が落ちないので作業性が違います。 旋回運動のスクロールなので、やわらかな音質です。作業の手元に設置できます。 通常の使用状態であれば、メンテナンスはGVS-250で2年毎、GVS-500E/501E/1000で1年毎。日常の管理コストを低減します。

加圧給油方式を採用で、大気圧から高真空までの運転がスムーズです。RVシリーズはオイル流量の調節バルブ内蔵。 オイルの逆流防止機構内蔵で、停電などの突然の停止にもオイルの逆流を防止し、システム側を真空状態に保ちます。

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応。 省エネ機能付真空用デジタル圧力スイッチにより、真空到達時供給エアカット：空気消費量 90%削減 エジェクタの効率化により：吸込流量 50%増加、：空気消費量 30%削減(メーカー1段エジェクタとの比較) 小型・軽量化：体積88cm328%減、：質量81g 59%減

CEマーキング・RoHS指令標準対応品です。旧シリーズに比べ静音仕様です。無給油式のため真空利用(バキューム仕様)の場合でも油分を含まないので、作業場や製品を油で汚しません。

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。

接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。 ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 大気圧から作動が可能。シンプル構造で、メンテナンスが容易。

M12片側ストレートコネクタ