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単結晶SiCウェハ 8インチ・4H-N ダミーグレード
IV-SemiteC¥949,800税込¥1,044,7801枚5日以内出荷高品質の単結晶SiCウェハ仕様●結晶タイプ: 4H-SiC●導電型: Nタイプ●グレード: ダミー●直径: 200.0mm ± 0.2mm (8インチ)●厚さ: 500 μm±25 μm●オフ角度: [11-20]に対して4°±0.5°●マイクロパイプ密度(MPD): 10 個/cm-2 以下●比抵抗値: 0.015~0.028Ω-cm (75%面積)●ノッチ方位: [1-100]±5.0°、深さ 1.0~1.5mm●面方位: {0001}± 0.2°●反り: LTV≦10μm(10*10mm2)、TTV≦15 μm、BOW≦65μm、WARP≦70 μm●表面仕上げ: 両面CMP、Si面Epi Ready (Si面 Ra≦0.5 nm)●エッジクラック: N/A●結晶多形: 累積面積≦5%●エッジチッピング: N/A●レーザーマーク: C面(裏面)側に有り●梱包形態: シングルウエハケースに1枚毎に梱包材質炭化ケイ素グレードダミー仕上CMPアズワン品番68-4088-78
単結晶SiCウェハ 6インチ・4H-N ダミーグレード
IV-SemiteC¥119,800税込¥131,7801枚6日以内出荷高品質の単結晶SiCウェハ仕様●結晶タイプ: 4H-SiC●導電型/ドーパント: Nタイプ、窒素●グレード:ダミーグレード●直径: 150.0mm± 0.2mm (6インチ)●厚さ: 350 μm±25 μm●オフ角度: [11-20]に対して4°±0.5°●マイクロパイプ密度(MPD): 2 個/cm2 以下●比抵抗値: 0.015~0.028Ω-cm●オリフラ: // [11-20] ± 5.0°、長さ47.5 mm ± 2.0 mm●エッジ除外領域(EE): ウェハ端から3mm●反り: LTV≦5μm、TTV≦15 μm、BOW≦40μm、WARP≦60 μm●表面仕上げ: 両面CMP、Si面Epi-ready (Si面Ra≦0.2 nm、C面Ra≦0.5 nm)●エッジクラック: N/A●結晶多形: 累積面積≦5%●エッジチッピング: 2 個以下、各々1mm 以内●XRD半値幅: ≦60 arcsec●表面パーティクル: 0.3μm ≦30個●表面金属不純物: Al/Cr/Fe/Ni/Cu/Zn/pb/V/Mn/NA/Ca/K/Mg≦5E10atoms●レーザーマーク: C面(裏面)側に有り●梱包形態: シングルウエハケースに1枚毎に梱包アズワン品番68-4088-73






![15×15mm Si シリコン 研究用[P 100 ,1-100Ω]ダイシング チップ 角基板 アズワン 15×15mm Si シリコン 研究用[P 100 ,1-100Ω]ダイシング チップ 角基板 アズワン](https://jp.images-monotaro.com/Monotaro3/pi/middle/mono05087261-241204-02.jpg)












