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HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ 耐荷重(N)39.2 送り方式送りねじ 移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ) 表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地 センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3 移動方向XY軸2方向 使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
199,800 税込219,780
5日以内出荷
バリエーション一覧へ (24種類の商品があります)

移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。 ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。 ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。
種類xyステージ テーブル長さ(mm)200 テーブル幅(mm)200 耐荷重(N)392 送り方式送りねじ 移動ガイドボールウェイ 仕様(送りねじ)ボールねじ 表面処理(テーブル)白アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 送りねじリード(mm)2 ロストモーション(mm)0.002 材質(テーブル)アルミ合金
1個
689,800 税込758,780
60日以内出荷
バリエーション一覧へ (4種類の商品があります)

中央精機X・Y小型ステージ
エコ商品
20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにV溝とクロスローラを採用し非常に高精度な移動が可能です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ テーブル長さ(mm)30 テーブル幅(mm)30 耐荷重(N)14.7 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 質量(kg)0.32 表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.0005 センサーリミットセンサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、ホールIC 分解能0.001mm 適合ケーブルACB-STS2 RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.008 使用モータPK513PB相当(5線式ペンタゴン結線、0.35A/相) 送りねじリード(mm)0.5 位置決め精度(mm)0.015 ロストモーション(mm)0.0005 最高速度(mm/s)8(8000pps時) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
189,800 税込208,780
5日以内出荷

中央精機XYステージ
2mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにボールウェイを使用しています。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
耐荷重(N)14.7(1.5kgf) 移動ガイドボールウェイ 質量(kg)0.55 付属品検査合格証、六角穴付ボルト(低頭)M2.5 6本 材質ステンレス 移動方向XY軸2方向 移動量(mm)±25 ステージ寸法(mm)30×30 使用モータPK513PB相当(5相ペンタゴン結線、0.35A/相) 分解能(mm)0.002 送りねじリード(mm)1 移動精度(mm)HV:真直度(水平・垂直)0.015 位置決め精度(mm)0.02 繰返し精度(mm)±0.001 ロストモーション(mm)0.007 XY直交度(mm)0.01 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 表面処理低温黒色クロムメッキ センサーリミット:ノーマルクローズ接点(ブレイク接点、B接点)動作、フォトセンサ 適合ケーブル専用ケーブル(ACB-STT2)を付属 仕様ボールねじ仕様(対称型) 種類xyステージ
1台
289,800 税込318,780
7日以内出荷

移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ 送り方式送りねじ 移動ガイドボールブッシュ 仕様(送りねじ)ボールねじ 表面処理(テーブル)白アルマイト梨地 センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 分解能0.002mm 適合ケーブルACB-BTD2・ACB-BTD3 RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 送りねじリード(mm)1 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
329,800 税込362,780
5日以内出荷から13日以内出荷
バリエーション一覧へ (3種類の商品があります)

移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。 ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。 ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。
種類xyステージ テーブル長さ(mm)200 テーブル幅(mm)200 耐荷重(N)392 送り方式送りねじ 移動ガイドボールウェイ 仕様(送りねじ)ボールねじ 表面処理(テーブル)白アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 送りねじリード(mm)5 ロストモーション(mm)0.005 材質(テーブル)アルミ合金
1個
689,800 税込758,780
60日以内出荷
バリエーション一覧へ (4種類の商品があります)

1台
229,800 税込252,780
20日以内出荷から23日以内出荷
バリエーション一覧へ (36種類の商品があります)

お得なセット品をご用意しました。お手元に届いたその日から、簡単に操作することができます。X軸セット/手軽に直進1方向の自動位置決めとJOG駆動を行うことができます。XY軸セット/XY軸自動アライメント、パソコン無しでプログラム運転が可能です。XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。XYZ軸セット/計測・検査装置やワークのXYZ軸自動位置決め用途に最適です。
1セット
99,980 税込109,978
33日以内出荷
バリエーション一覧へ (2種類の商品があります)

新製品 低価格・高精度・短納期を実現した『SXステージ』シリーズです。 精密クロスローラガイドを使用したロングストローク自動Xステージです。 クリーングリスを使用しています。 送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。 5相ステッピングモーター使用。 KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。 モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。 2相ステッピングモーター仕様も承ります。
種類xyステージ 送り方式ボールネジ リード(mm)1 移動ガイド精密クロスローラガイド 材質アルミ合金 白色仕上げ 繰返し精度(μm)≦±0.3(位置決め) バックラッシュ≦0.2μm コネクタ形状丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
1台
189,800 税込208,780
15日以内出荷から23日以内出荷
バリエーション一覧へ (4種類の商品があります)

移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ テーブル長さ(mm)460 テーブル幅(mm)405 耐荷重(N)49 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 仕様(送りねじ)ボールねじ 付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ 適合顕微鏡/(ニコン)オプチフォト300、エクリプスL300/L300D 質量(kg)10.3(アルミプレートを除く) 表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 分解能0.002mm 適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3 RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 使用モータPK525HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 送りねじリード(mm)1 位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.040、(Y軸)0.040、【フルストローク】(X軸)0.120、(Y軸)0.010 ロストモーション(mm)0.003 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
1,798,000 税込1,977,800
30日以内出荷

SFC(エス・エフ・シー)XYテーブルF3
ステージサイズ450x450mm。XY各300mm可動。素早く調整する手動スライド式。大きな資料の位置合わせに最適。MAX耐荷重30kg
関連資料寸法図
1個
149,800 税込164,780
22日以内出荷

移動ガイドにV溝とクロスローラをを採用した高精度の自動XYステージです。 移動ガイドにはクリーンルームグリスを塗布しています。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 仕様(送りねじ)ボールねじ 表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装 センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 分解能0.002mm 適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3 移動方向XY軸2方向 送りねじリード(mm)1 ロストモーション(mm)0.001 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)鋼材
1個
499,800 税込549,780
5日以内出荷から20日以内出荷
バリエーション一覧へ (6種類の商品があります)

基板などの精密穴開け加工に最適。等ピッチの穴開け加工が可能。ミニバイスとの組み合わせ使用も可能。
仕様K-24(ミニバイス)の取付可能 付属品クランプ 質量(g)800 テーブル寸法(mm)210×70 適合品番K-21用 スライド寸法(mm)(前後)各23、(左右)各66 ハンドル目盛1目盛0.05mm(1回転:1mm)
1個
16,980 税込18,678
当日出荷

移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ テーブル幅(mm)155 耐荷重(N)29.4 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 仕様(送りねじ)ボールねじ 付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ 適合顕微鏡/(ニコン)オプチフォト100S、エクリプスME600 表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 分解能0.002mm 適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3 RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 送りねじリード(mm)1 ロストモーション(mm)0.002 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
669,800 税込736,780
70日以内出荷
バリエーション一覧へ (2種類の商品があります)

中央精機XYステージ
エコ商品
新規ステッピングモータを使用することで低振動、低騒音を可能にしました。移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
仕様●リミットセンサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●原点前センサ:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4):14 種類XYステージ 繰返し精度(mm)±0.002 適合ケーブルACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3 耐荷重(N)392(40kgf) RoHS指令(10物質対応)10物質対応 移動方向XY軸2方向 送り方式ボールねじ 移動ガイドボールウェイ モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.04 使用モータPKP545N18B2 テーブル幅(mm)200 テーブル長さ(mm)200 原点センサノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
1台
689,800 税込758,780
20日以内出荷
バリエーション一覧へ (4種類の商品があります)

20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにボールウェイを使用しています。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
耐荷重(N)14.7(1.5kgf) 移動ガイドボールウェイ 質量(kg)0.55 付属品検査合格証、六角穴付ボルト(低頭)M2.5 6本 材質ステンレス 移動方向XY軸2方向 移動量(mm)±25 ステージ寸法(mm)30×30 使用モータPK513PB相当(5相ペンタゴン結線、0.35A/相) 分解能(mm)0.002 送りねじリード(mm)1 移動精度(mm)HV:真直度(水平・垂直)0.015 位置決め精度(mm)0.02 繰返し精度(mm)±0.001 ロストモーション(mm)0.007 XY直交度(mm)0.01 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 表面処理低温黒色クロムメッキ センサーリミット:ノーマルクローズ接点(ブレイク接点、B接点)動作、フォトセンサ 適合ケーブル専用ケーブル(ACB-STT2)を付属 仕様ねじ仕様(標準型) 種類xyステージ
1台
289,800 税込318,780
7日以内出荷

機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 仕様(送りねじ)ボールねじ 表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装 繰返し精度(mm)±0.0005 センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 分解能0.002mm 適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3 RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 送りねじリード(mm)1 ロストモーション(mm)0.0005 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)鋼材
1個
949,800 税込1,044,780
20日以内出荷
バリエーション一覧へ (3種類の商品があります)

付属品L型レンチ、ねじ一式(バイス、本体取付用) 質量(kg)3.7 寸法(幅W×奥行D×高さH)(mm)350×350×75
1台
22,980 税込25,278
当日出荷

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
1個
249,800 税込274,780
13日以内出荷から43日以内出荷
バリエーション一覧へ (12種類の商品があります)

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
1個
609,800 税込670,780
13日以内出荷
バリエーション一覧へ (6種類の商品があります)

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
1個
215,580 税込237,138
13日以内出荷
バリエーション一覧へ (6種類の商品があります)

6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ テーブル長さ(mm)280 テーブル幅(mm)230 耐荷重(N)49 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ 適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスLV150/LV150A 質量(kg)5.1(アルミプレートを除く) 表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 分解能0.002mm 適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3 RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.015 使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 送りねじリード(mm)1 位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.010、(Y軸)0.010、【フルストローク】(X軸)0.030、(Y軸)0.030 ロストモーション(mm)0.003 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
999,800 税込1,099,780
10日以内出荷

移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ テーブル幅(mm)155 耐荷重(N)29.4 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 仕様(送りねじ)ボールねじ 付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ 適合顕微鏡/(オリンパス)BX40、BX41M-LED、BX51、BX61M、BX60、BX61 表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 分解能0.002mm 適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3 RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 送りねじリード(mm)1 ロストモーション(mm)0.002 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
669,800 税込736,780
70日以内出荷
バリエーション一覧へ (2種類の商品があります)


モータにドライバ・コントローラ・エンコーダ一体型のクールマッスルCM1を搭載しています。 RS-232Cにより、専門のプログラミング言語でモータへのプログラム、またダイレクトモードでの駆動が可能です。 顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。 標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 移動方向XY軸2方向 送りねじリード(mm)1 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
699,800 税込769,780
10日以内出荷から70日以内出荷
バリエーション一覧へ (21種類の商品があります)

自動ステージの単軸を購入後、お客様ご自身でXY軸に組合せする場合に使用する専用プレートです。
1個
2,998 税込3,298
当日出荷から9日以内出荷
バリエーション一覧へ (6種類の商品があります)

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合8インチ、300mm用 RoHS指令(10物質対応)対応
1個
71,980 税込79,178
20日以内出荷

中央精機ウェハホルダ 3,4インチ用
エコ商品
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合3、4インチ用 RoHS指令(10物質対応)対応
1個
39,980 税込43,978
20日以内出荷
バリエーション一覧へ (2種類の商品があります)

移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
付属品アルミプレート、アダプタ、検査合格、六角穴付きボルト(アダプタ取付用)M3 4本 材質アルミ合金 質量(kg)3.3(アルミプレートを除く) 種類xyステージ 表面処理黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 分解能(mm)0.002 適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3 耐荷重(N)29.4(3kgf) RoHS指令(10物質対応)10物質対応 移動方向XY軸2方向 送り方式ボールねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直) 移動量(mm)X軸±50、Y軸±25 使用モータPKP523N12A 送りねじリード(mm)1 ロストモーション(mm)0.002 最高速度(mm/s)40(20000pps時) 原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
1台
769,800 税込846,780
20日以内出荷
バリエーション一覧へ (3種類の商品があります)

6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ テーブル長さ(mm)280 テーブル幅(mm)230 耐荷重(N)49 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ 適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスLV100D 質量(kg)5.1(アルミプレートを除く) 表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 分解能0.002mm 適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3 RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.015 使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 送りねじリード(mm)1 位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.010、(Y軸)0.010、【フルストローク】(X軸)0.030、(Y軸)0.030 ロストモーション(mm)0.003 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
999,800 税込1,099,780
10日以内出荷

8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ テーブル長さ(mm)355 テーブル幅(mm)305 耐荷重(N)49 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 仕様(送りねじ)ボールねじ 付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ 適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスL200/L200A/L200D/L200N/L200ND 質量(kg)7.3(アルミプレートを除く) 表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 分解能0.002mm 適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3 RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.025 使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 送りねじリード(mm)1 位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.015、(Y軸)0.015、【フルストローク】(X軸)0.060、(Y軸)0.050 ロストモーション(mm)0.003 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
1,298,000 税込1,427,800
70日以内出荷

中央精機ガラスプレート
エコ商品
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のガラスプレートです。標準付属のアルミプレートと交換することにより透過照明に対応いたします。
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
9,498 税込10,448
15日以内出荷から20日以内出荷
バリエーション一覧へ (5種類の商品があります)

中央精機アルミプレート
エコ商品
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通の標準付属アルミプレートです。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
9,498 税込10,448
10日以内出荷
バリエーション一覧へ (5種類の商品があります)

移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
材質アルミ合金 質量(kg)10.3(アルミプレートを除く) 種類xyステージ 表面処理黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 分解能(mm)0.002 適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3 耐荷重(N)49(5kgf) RoHS指令(10物質対応)10物質対応 移動方向XY軸2方向 送り方式ボールねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 移動量(mm)XY軸±150 使用モータPKP523N12A 送りねじリード(mm)1 ロストモーション(mm)0.003 最高速度(mm/s)40(20000pps時) 原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
1台
1,798,000 税込1,977,800
30日以内出荷
バリエーション一覧へ (2種類の商品があります)

8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
材質アルミ合金 質量(kg)7.3(アルミプレートを除く) 種類xyステージ 表面処理黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 分解能(mm)0.002 適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3 耐荷重(N)49(5kgf) RoHS指令(10物質対応)10物質対応 移動方向XY軸2方向 送り方式ボールねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.025(垂直) 移動量(mm)XY軸±100 使用モータPKP523N12A 送りねじリード(mm)1 ロストモーション(mm)0.003 最高速度(mm/s)40(20000pps時) 原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
1台
1,298,000 税込1,427,800
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移動量50mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
付属品アルミプレート、アダプタ、検査合格、六角穴付きボルト(アダプタ取付用)M3 4本 材質アルミ合金 質量(kg)2.7(アルミプレートを除く) 種類xyステージ 表面処理黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 分解能(mm)0.002 適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3 耐荷重(N)29.4(3kgf) RoHS指令(10物質対応)10物質対応 移動方向XY軸2方向 送り方式ボールねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.008 移動量(mm)XY軸±25 使用モータPKP523N12A 送りねじリード(mm)1 ロストモーション(mm)0.002 最高速度(mm/s)40(20000pps時) テーブル幅(mm)155 テーブル長さ(mm)155 原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
1台
669,800 税込736,780
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6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ テーブル長さ(mm)280 テーブル幅(mm)230 耐荷重(N)49 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ 適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスL200/L200A 質量(kg)5.1(アルミプレートを除く) 表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 分解能0.002mm 適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3 RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.015 使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 送りねじリード(mm)1 位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.010、(Y軸)0.010、【フルストローク】(X軸)0.030、(Y軸)0.030 ロストモーション(mm)0.003 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
999,800 税込1,099,780
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移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ テーブル幅(mm)155 耐荷重(N)29.4 送り方式送りねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 仕様(送りねじ)ボールねじ 付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ 適合顕微鏡/(オリンパス)BH2 表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地 繰返し精度(mm)±0.002 センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 分解能0.002mm 適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3 RoHS指令(10物質対応)対応 移動方向XY軸2方向 使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 送りねじリード(mm)1 ロストモーション(mm)0.002 最高速度(mm/s)16(8000pps時) 材質(テーブル)アルミ合金
1個
669,800 税込736,780
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MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合4、5、6インチ用 RoHS指令(10物質対応)対応
1個
42,980 税込47,278
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6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。※ 透過照明で観察できる範囲は移動量よりも狭くなります。外観図のテーブル透過穴をご参照ください。
種類xyステージ 繰返し精度(mm)±0.002 分解能(mm)0.002 適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3 耐荷重(N)49(5kgf) RoHS指令(10物質対応)10物質対応 移動方向XY軸2方向 送り方式ボールねじ 移動ガイドV溝とクロスローラ 移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直) 移動量(mm)XY軸±75 使用モータPKP523N12A 送りねじリード(mm)1 ロストモーション(mm)0.003 最高速度(mm/s)40(20000pps時) 原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
1台
999,800 税込1,099,780
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